Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Система Литографированием Луча Электронов - Vistec SB250

Обзор

Система литографированием луча электронов Vistec SB250 рентабельное и всеобщий инструмент и для продукции маск и сразу пишет применения для того чтобы позволить клиенты ответить быстро к требованиям рынка. Система имеет ряд перемещения этапа 210 x 210mm делая им соответствующий инструмент для подвергать действию маски до 7inch и вафли до 200mm в диаметре.

SB250 включает выдержку и регулировать non-прозрачных и прозрачных материалов сложного полупроводника. Зодчество модульной системы позволяет SB250 легко быть модернизированным к более высокому представлению инструмента.

Вполне автоматизированный регулировать субстрата, малый след ноги чистой комнаты и изощренные operating и ПО подготовки данных convincing доказательство Серии SB250 частью модульного toolset Vistec предлагают к своим клиентам от участка индустрии и прикладного исследования.

Дополнительные самые интересные новой серии SB250 пол-доказанный Переменн-Форменный Луч (VSB), «Писать-на--Муха», режимы сочинительства Развертки Вектора и колонка форменн-луча 50keV.

Главные Особенности

Главные особенности Серии SB250 выборочно доступной для того чтобы соотвествовать специфические своих клиентов включают:

  • Ряд размеров и типов субстрата поддержанных полн-автоматизированным субстратом регулируя включая pre-выравнивание субстрата. 

  • Многоходовое сочинительство. 

  • Пакет Программ Обнаружения Марк (MDSP) включая метрическую систему мер отображенного поля. 

  • Станция подготовки данным по Плана покрывая до 256 сердечников C.P.U. для ломать так же, как дополнительная Коррекции Влияния Близости (PROXECCO) и fogging варианты коррекции. 
  • Графический Интерфейс Пользователя (GUI) уступчивый к SEMI E95. 

  • Решетка Адреса вниз к 1nm. 

Last Update: 12. September 2013 11:01

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment