Система Литографированием Луча Электронов - Vistec SB250

Система Литографированием Луча Электронов - Vistec SB250

Обзор

Система литографированием луча электронов Vistec SB250 рентабельное и всеобщий инструмент и для продукции маск и сразу пишет применения для того чтобы позволить клиенты ответить быстро к требованиям рынка. Система имеет ряд перемещения этапа 210 x 210mm делая им соответствующий инструмент для подвергать действию маски до 7inch и вафли до 200mm в диаметре.

SB250 включает выдержку и регулировать non-прозрачных и прозрачных материалов сложного полупроводника. Зодчество модульной системы позволяет SB250 легко быть модернизированным к более высокому представлению инструмента.

Вполне автоматизированный регулировать субстрата, малый след ноги чистой комнаты и изощренные operating и ПО подготовки данных convincing доказательство Серии SB250 частью модульного toolset Vistec предлагают к своим клиентам от участка индустрии и прикладного исследования.

Дополнительные самые интересные новой серии SB250 пол-доказанный Переменн-Форменный Луч (VSB), «Писать-на--Муха», режимы сочинительства Развертки Вектора и колонка форменн-луча 50keV.

Главные Особенности

Главные особенности Серии SB250 выборочно доступной для того чтобы соотвествовать специфические своих клиентов включают:

  • Ряд размеров и типов субстрата поддержанных полн-автоматизированным субстратом регулируя включая pre-выравнивание субстрата. 

  • Многоходовое сочинительство. 

  • Пакет Программ Обнаружения Марк (MDSP) включая метрическую систему мер отображенного поля. 

  • Станция подготовки данным по Плана покрывая до 256 сердечников C.P.U. для ломать так же, как дополнительная Коррекции Влияния Близости (PROXECCO) и fogging варианты коррекции. 
  • Графический Интерфейс Пользователя (GUI) уступчивый к SEMI E95. 

  • Решетка Адреса вниз к 1nm. 

Last Update: 12. September 2013 11:01

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier