Обзор
Система литографированием луча электронов Vistec SB250 была конструирована по мере того как всеобщий и рентабельный инструмент для обоих направляет пишет и маскирует делать применения для того чтобы позволить клиентам прореагировать быстро к требованиям рынка.
С свои 210 x 210mm ряд перемещения этапа оно идеально инструмент для подвергать действию маски до 7 медленно двиньте и вафли до диаметра 200 mm.
Принципиальная схема SB250 включает регулировать и выдержку прозрачных и non-прозрачных материалов сложного полупроводника. Зодчество модульной системы позволяет вашему SB250 легко быть модернизированным к более высокому представлению инструмента.
Малый след ноги чистой комнаты и польностью автоматизированный регулировать субстрата так же, как современные operating и ПО подготовки данных убедят вас высокого профессионализма Серии SB250 частью модульного toolset Vistec предлагает к своим клиентам от участка индустрии и прикладного исследования.
Пол-доказанные VSB (Переменный Форменный Луч), «Писать-на--Муха» и режимы сочинительства Развертки Вектора так же, как колонка форменн-луча 50keV более дополнительные самые интересные новой Серии SB250.
Главные Особенности
Соотвествовать специфические наших клиентов следующие характеристики выборочно доступны:
- Различные размеры и типы субстрата поддержанные польностью автоматизированным субстратом регулируя включая pre-выравнивание субстрата
- Многоходовое сочинительство
- MDSP (Пакет Программ Обнаружения Марк) включая отображенное поле метрическое
- Станция подготовки данным по Плана покрывая до 256 сердечников C.P.U. для:
- ломать
- добавочная дополнительная Коррекция Влияния Близости (PROXECCO) и fogging варианты коррекции
- Графический Интерфейс Пользователя (GUI) уступчивый к SEMI E95
- Решетка Адреса вниз к 1nm