Elektronen Strålar LithographySystemet - Vistec SB250

Överblick

Den Vistec SB250 elektronen strålar lithographysystemet är etteffektivt, och universellt bearbeta för både produktionen av maskerar och riktar skriver applikationer för att möjliggöra kunder för att reagera snabbt för att marknadsföra begärningar. Systemet har 210 x 210mm att arrangera reser spänner danande det som ett passande bearbetar för exponering maskerar upp till 7inch och rån upp till 200mm i diameter.

SB250EN möjliggör exponering och bruk av ogenomskinliga och genomskinliga sammansatt halvledarematerial. Modulsystemarkitekturen möjliggör SB250EN som lätt ska förbättras till ett högre, bearbetar kapacitet.

Fullständigt automatiserat substratebruk, det små rena rumfotspåret och den sofistikerade fungeringsen och programvaran för dataförberedelse är övertygande bevisar av Serien som SB250 den är delen av modultoolseten Vistec, erbjuder till dess kunder från branschen och den applicerade forskningsektoren.

Extra viktig av denbevisade nya serien SB250 är Variabel-Format Strålar (VSB), ”Skriva-på--Flugan”, funktionslägen för VektorBildläsningshandstil, och 50keVna forma-strålar kolonnen.

Stämma Särdrag

De nyckel- särdragen av den tillgängliga Serien SB250 valfritt som möter de specifika kraven av dess kunder, inkluderar:

  • En spänna av substraten storleksanpassar och typer som stöttas av denautomatiserade substraten som behandlar inklusive substratepre-justering. 

  • Multipass handstil. 

  • Markera UpptäcktsProgramvara Paketerar (MDSP) avbildar däribland sätter in metrik. 

  • Orienteringsdataförberedelsen posterar beläggning upp till 256 som CPU kärnar ur för att bryta, såväl som extra Närhet Verkställer Korrigeringen (PROXECCO) och att fördunkla korrigeringsalternativ. 
  • Den Grafiska Användaren Har Kontakt (GUI) eftergivent till HALV E95. 

  • Tilltala rastret besegrar till 1nm. 

Last Update: 12. September 2013 11:01

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment