電子束光刻系統 - Vistec SB250

概覽

Vistec SB250 電子束光刻系統是有效,并且為屏蔽的生產的通用工具和直接的寫應用使客戶迅速回應市場需要。 這個系統有做它為顯示的一個 210 x 210mm 階段旅行範圍屏蔽至 7inch 和薄酥餅的一個適當的工具至 200mm 直徑。

SB250 啟用風險和處理不透明和透明化合物半導體材料。 模數制結構使 SB250 容易地被升級到更高的工具性能。

完全地自動化的基體處理,小的潔淨室腳印和複雜的運行和數據準備軟件是 SB250 的串聯的令人信服的證據這個模件成套工具 Vistec 的一部分為其從行業和應用的研究部門的客戶提供。

新的 SB250 串聯的另外的高亮度顯示是現場以證實的可變型射線 (VSB), 「寫在這蒼蠅」,向量掃描文字模式和 50keV 形狀射線列。

關鍵功能

可用符合其客戶的特定要求的選項 SB250 串聯的關鍵功能包括:

  • 範圍全自動的基體和類型的支持的基體範圍處理包括基體前對準線。 

  • 多通文字。 

  • 標誌檢測軟件包 (MDSP)包括圖像域衡量標準。 

  • 格式包括破裂以及另外的鄰近效應更正 (PROXECCO) 和使的數據準備崗位更正選項模糊 256 個 CPU 核心。 
  • 圖形用戶界面 (GUI)兼容對半 E95。 

  • 下來地址網格對 1nm。 

Last Update: 12. September 2013 11:00

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