Die MikroKratzer-Prüfvorrichtung ist weit verbreitet, die genaue Kennzeichnung des Adhäsionsbruchs der Dünnfilme und der Beschichtungen, mit einer typischen Stärke unterhalb µm 5 zu definieren. Zusätzlich kann das MST in der Analyse von organischen und anorganischen, weichen und harten Beschichtungen verwendet werden. Anwendungen umfassen dünnes und mehrschichtiges PVD, CVD, PECVD, Fotoresist, Lacke, Lacke und viele andere Baumuster von Filmen. Industrien und Forschungsbereiche verwenden dieses Instrument für die Followings; optische Beschichtungen, Mikroelektronik, schützende, dekorative Oberflächenbeschichtungen. Substratflächen sind möglicherweise hart oder, einschließlich des Glases, organischer und brechender die Materialien der Metalllegierungen, der Halbleiter, weich.
Merkmale
- Diamantstift
- Automatisierte optische mikroskopische Inspektion
- Stellzylinder der esteuerten Kraft des Feed-backs
- Kratzertiefenmaß
- Oberflächenein Profil erstellen
Optionen
- Orichtung schwingmodusoption
- Video der Hohen Auflösung, Conscan und FLUGHANDBUCH-Betrachtung
- Große Auswahl von Zahnwalzenspitzen
- Einrückungsprüfungsoption
- Temperaturinszenierung