마이크로 찰상 검사자는 널리 이용됩니다 5 µm 이하 전형적인 간격과 더불어 박막 그리고 코팅의 접착 실패의 정확한 특성을, 정의하기 위하여. 게다가, MST는 유기와 무기, 연약하고와 단단한 코팅의 분석에서 사용될 수 있습니다. 응용은 필름의 얇은 다중층 PVD, CVD, PECVD, 감광저항, 페인트, 래커 및 여러가지 다른 모형을 포함합니다. 기업과 연구 지역은 추종자를 위해 이 계기를 사용합니다; 광학적인 코팅, 마이크로 전자공학, 방어, 장식적인 지상 코팅. 기질은 금속 합금, 반도체, 유리의, 유기 및 굴절 물자를 포함하여 단단하거나 연약할지도, 모릅니다.
특징
- 다이아몬드 첨필
- 자동화된 광학적인 현미경 검사
- 피드백 제어 군대 액추에이터
- 찰상 깊이 측정
- 지상에게 윤곽을 그리기
선택권
- y 방향 진동 최빈값 선택권
- 고해상 영상, Conscan 및 AFM 보기
- indenter 끝의 광범위
- 압흔 테스트 선택권
- 온도 발판