Atommikroskop der kraft 3D (AFM) - Einblick von Bruker

Produktion-Basierte Metrologie des Bezugs 3D für 45 nm und unten

Für unvergleichliche Richtigkeit und Genauigkeit - die Art brauchte für zerstörungsfreie, hochauflösende Maße 3D kritischen 45nm und des Halbleiters 32nm Merkmale -- das AtomKraft-Mikroskop InSight™ 3D (AFM) von Bruker ist die klare Wahl.

Einblick 3DAFM liefert die Genauigkeit, die benötigt wird, um prozesskontrollierte durchgehende kritische Abmessung und (CD) Metrologie des Seitenwandwinkels zu verbessern (SWA).

Plus, Einblick 3DAFM gibt Ihnen dreimal der Durchsatz und zweimal die Maßrichtigkeit und genauigkeit gegen vorhergehendes AFMs.

Merkmale

Merkmale des Bruker-Einblick 3D FLUGHANDBUCHS umfassen:

  • Stellt Bezugsmetrologie für entscheidende CD-Elemente wie Tor, flache Grabenisolierungs (STI)verbindungsstück Doppel-Damascenezellen, Seitenwandwinkel, Zeilerand Variante und mehr zur Verfügung.
  • Stellt die niedrigste Messunsicherheit für kritische Abmessung (CD) und Metrologie des Seitenwandwinkels (SWA) zur Verfügung
  • 30 wph, Durchsatz mit 9 Sites für Tiefenmetrologie u. 12 wph, Durchsatz mit 9 Sites für die CD-Metrologie Eindeutig, zerstörungsfrei, Metrologie 3D (LER, LWR, SWA)
  • Produktionsebenezuverlässigkeit und hochmoderne Automatisierung für Inline-Produktivität

Last Update: 30. October 2013 13:04

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