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microscopio Atómico de la Fuerza 3D (AFM) - Discernimiento de Bruker

metrología Producción-Basada de la referencia 3D para 45 nanómetro y abajo

Para la exactitud y la precisión incomparables - la clase necesitó para las características las mediciones no destructivas, de alta resolución 3D de 45nm crítico y del semiconductor 32nm -- el Microscopio Atómico de la Fuerza de InSight™ 3D (AFM) de Bruker es la opción sin obstrucción.

El discernimiento 3DAFM proporciona a la exactitud necesaria para mejorar mando de proceso con la dimensión y (CD) la metrología críticas del ángulo del flanco (SWA).

El Más, Discernimiento 3DAFM le da tres veces la producción y dos veces la exactitud y la precisión de la medición comparado con AFMs anterior.

Características

Las Características del Discernimiento 3D AFM de Bruker incluyen:

  • Proporciona a la metrología de la referencia para los elementos cruciales del CD como la entrada, las estructuras bajas del doble-damasceno (STI) de la unión del aislamiento del foso, los ángulos del flanco, la variación del línea-borde y más.
  • Proporciona a la incertidumbre de medición más inferior para la dimensión y (CD) la metrología críticas del ángulo del flanco (SWA)
  • 30 wph, producción de 9 sitios para la metrología de la Profundidad y 12 wph, producción para la metrología del CD Única, no destructiva, Metrología 3D (LER, LWR, SWA) de 9 sitios
  • Confiabilidad nivelada de la Producción y automatización avanzada para la productividad en línea

Last Update: 30. October 2013 13:06

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