metrología Producción-Basada de la referencia 3D para 45 nanómetro y abajo
Para la exactitud y la precisión incomparables - la clase necesitó para las características las mediciones no destructivas, de alta resolución 3D de 45nm crítico y del semiconductor 32nm -- el Microscopio Atómico de la Fuerza de InSight™ 3D (AFM) de Bruker es la opción sin obstrucción.
El discernimiento 3DAFM proporciona a la exactitud necesaria para mejorar mando de proceso con la dimensión y (CD) la metrología críticas del ángulo del flanco (SWA).
El Más, Discernimiento 3DAFM le da tres veces la producción y dos veces la exactitud y la precisión de la medición comparado con AFMs anterior.
Características
Las Características del Discernimiento 3D AFM de Bruker incluyen:
- Proporciona a la metrología de la referencia para los elementos cruciales del CD como la entrada, las estructuras bajas del doble-damasceno (STI) de la unión del aislamiento del foso, los ángulos del flanco, la variación del línea-borde y más.
- Proporciona a la incertidumbre de medición más inferior para la dimensión y (CD) la metrología críticas del ángulo del flanco (SWA)
- 30 wph, producción de 9 sitios para la metrología de la Profundidad y 12 wph, producción para la metrología del CD Única, no destructiva, Metrología 3D (LER, LWR, SWA) de 9 sitios
- Confiabilidad nivelada de la Producción y automatización avanzada para la productividad en línea