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3D 原子力の顕微鏡 (AFM) - Bruker からの洞察力

45 nm のための生産ベースの 3D 参照の度量衡学以下に

並ぶものがない正確さおよび精密のため - 種類は重大な 45nm の非破壊的な、高解像 3D 測定および 32nm 半導体機能のために必要としました -- Bruker からの InSight™ 3D 原子 (AFM)力の顕微鏡は明確な選択です。

洞察力 3DAFM はプロセス制御直通の重大な次元およびサイドウォールの角度 (SWA) の (CD)度量衡学を改善するのに必要とされる正確さを提供します。

プラス、洞察力 3DAFM はスループット 3 倍のおよび二度測定の正確さおよび精密対前の AFMs 与えます。

機能

Bruker の洞察力 3D AFM の機能は下記のものを含んでいます:

  • ゲート、浅い堀の隔離連合二重 damascene の構造、サイドウォールの角度、ライン端の (STI)変化および多くのような重大な CD 要素に参照の度量衡学を提供します。
  • 重大な次元およびサイドウォールの角度 (SWA) の (CD)度量衡学に最も低い測定不確実性を提供します
  • 深さの度量衡学のための 30 の wph、 9 つのサイトスループット及び 12 の wph、非破壊的な一義的な CD 度量衡学のための 9 つのサイトスループット 3D 度量衡学 (LER、 LWR、 SWA)
  • インライン生産性のための生産の水平な信頼性そして最新式のオートメーション

Last Update: 30. October 2013 13:04

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