3D 基本強制顯微鏡 (AFM) - 從 Bruker 的答案

45 的毫微米基於生產的 3D 參考計量學以下

对空前的準確性和精確度 - 種類為重要 45nm 的非破壞性,高分辨率 3D 評定和 32nm 半導體功能需要 -- 從 Bruker 的 InSight™ 3D 基本 (AFM)強制顯微鏡是清楚的選擇。

答案 3DAFM 提供必要的準確性改進程序控制的通過重要維數 (CD)和側壁角度 (SWA) 計量學。

加號,答案 3DAFM 給您三倍處理量和兩次評定準確性和精確度與早先 AFMs。

功能

Bruker 答案 3D AFM 的功能包括:

  • 為像門、淺溝槽隔離聯合雙重波狀花紋結構、側壁角度 (STI),線路邊緣差異和更多的關鍵的 CD 的要素提供參考計量學。
  • 為重要維數和側壁角度 (SWA (CD)) 計量學提供最低的測量誤差
  • 30 wph、 9 個站點處理量深度計量學的 & 12 wph, 9 個站點處理量唯一 CD 的計量學的,非破壞性, 3D 計量學 (LER、 LWR, SWA)
  • 生產級別可靠性和科技目前進步水平自動化軸向生產率的

Last Update: 30. October 2013 13:03

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment