3D 基本強制顯微鏡 (AFM) - 從 Bruker 的答案

3D 基本強制顯微鏡 (AFM) - 從 Bruker 的答案

45 的毫微米基於生產的 3D 參考計量學以下

对空前的準確性和精確度 - 種類為重要 45nm 的非破壞性,高分辨率 3D 評定和 32nm 半導體功能需要 -- 從 Bruker 的 InSight™ 3D 基本 (AFM)強制顯微鏡是清楚的選擇。

答案 3DAFM 提供必要的準確性改進程序控制的通過重要維數 (CD)和側壁角度 (SWA) 計量學。

加號,答案 3DAFM 給您三倍處理量和兩次評定準確性和精確度與早先 AFMs。

功能

Bruker 答案 3D AFM 的功能包括:

  • 為像門、淺溝槽隔離聯合雙重波狀花紋結構、側壁角度 (STI),線路邊緣差異和更多的關鍵的 CD 的要素提供參考計量學。
  • 為重要維數和側壁角度 (SWA (CD)) 計量學提供最低的測量誤差
  • 30 wph、 9 個站點處理量深度計量學的 & 12 wph, 9 個站點處理量唯一 CD 的計量學的,非破壞性, 3D 計量學 (LER、 LWR, SWA)
  • 生產級別可靠性和科技目前進步水平自動化軸向生產率的

Last Update: 30. October 2013 13:03

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