Photoluminescence (か PL) です bandgap、放出波長、結晶化度および結晶構造、欠陥等はのような半導体材料の電気および光学的性質で情報を、提供する分光学の技術…
PL マッパーは完全なウエファー上の複数のパラメータのマップを生成するのに bandgap の上のエネルギーと刺激される材料からの光学冷光の放出の測定によって使用されるレーザーによって基づく器械です。
生産環境で HORIBA Jobin Yvon PL のマップシステムがエピタクシーの層の水晶品質、構成および同質性で鍵情報を提供するのに使用されています。
HORIBA Jobin Yvon からの Photoluminescence のマップシステムはまた装置、または nano 材料の photoluminescence の画像を得ることのような研究によって方向づけられるタスクのために使用され、またラマン分光学のような他の構成で使用することができます。
すべてのシステムは多重探知器を使用して赤外線に深い紫外線からの photoluminescence そしてラマンスペクトルを測定することができます (~200nm) (複数のミクロンまで)。
LabRAM ARAMIS-PL Photoluminescence マップシステムはまたのために使用されます:
- マイクロ PL のミクロ以下のスケールの photoluminescence
- カーボン Nanotubes の Photoluminescence の調査
- ガリウム窒化物 (GaN) の nanowires またはケイ素の nanowires のような nano 材料の (Si)マップ
- AlGaAs/InGaAs のダイオードのような III-V 装置の Photoluminescence そしてラマン
- 半導体のラマンおよび Photoluminescence の調査
- 低温 Photoluminescence (PL)