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Photoluminescence - Horiba에서 LabRAM ARAMIS-PL 지도로 나타내고기 및 화상 진찰 시스템

Photoluminescence (또는 통제선) 반도체 물자의 전기와 광학적 성질에 정보를 bandgap와 같은 방출 파장, 결정성 및 결정 구조, 결점 등등… 제공하는 분광학 기술입니다.

통제선 지도 작성자는 가득 차있는 웨이퍼에 몇몇 매개변수의 지도를 생성하기 위하여 그들의 bandgap의 위 에너지로 흥분한 물자에서 광학적인 냉광 방출을 측정해서 사용된 레이저에 기지를 둔 계기입니다.

HORIBA Jobin Yvon 통제선 매핑 제도는 생산 환경에서 켜쌓기 층 수정같은 질, 구성 및 균질성에 중요한 정보를 제공하기 위하여 이용됩니다.

HORIBA Jobin Yvon에서 Photoluminescence 매핑 제도는 또한 장치 nano 물자의 photoluminescence 심상을 얻기와 같은 연구에 의하여 동쪽으로 향하게 한 업무를 위해 이용되고, 또한 라만 분광학과 같은 그밖 윤곽에서 사용될 수 있습니다.

모든 시스템은 다중 검출기를 사용하여 적외선에 깊은 UV에서 photoluminescence 그리고 라만 스펙트럼 측정 가능합니다 (~200nm) (몇몇 미크론까지).

LabRAM ARAMIS-PL Photoluminescence 매핑 제도는 또한을 위해 이용됩니다:

  • 마이크로 통제선 의 미크론 이하 가늠자에 photoluminescence
  • 탄소 Nanotubes의 Photoluminescence 연구 결과
  • 갈륨 질화물 (GaN) nanowires 실리콘 nanowires와 같은 nano 물자의 (Si) 지도로 나타내기
  • AlGaAs/InGaAs 다이오드와 같은 III-V 장치의 Photoluminescence 그리고 라만
  • 반도체의 라만과 Photoluminescence 연구 결과
  • 저온 Photoluminescence (PL)

Last Update: 11. January 2012 04:45

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