Die Darstellung, die ellipsometry ist, gleicht die Grenzen auf klassische ellipsometers aus, indem sie Dicke und optische Eigenschaften mit einer Kombination des Ungültig machens ellipsometry und der Mikroskopie bestimmt. Ellipsometric kontrastreiche Bilder von der Oberfläche mit einer seitlichen Auflösung unten zu 1 ìm werden erzielt. Spektralanalytisches ellipsometry aktiviert Sie, komplexe Materialien wie Polymeroberflächen, graphene Flocken, monomolekulare Schichten, Biosensors, Proteinaufnahme und viel mehr zu studieren. Mit der ellipsometry Darstellung kann die Größe der untersuchenden Nachricht auf der Mikrometerreichweite verringert werden, die den Benutzer aktiviert, auf mikro-strukturierten Proben zu messen. Zum Beispiel characteriszed möglicherweise reagierende Beschichtungen auf freitragend-basierten microsensors durch das ep3_se. Solche Proben sind zur großen Spotgröße von herkömmlichen ellipsometers unzugänglich. Gleichzeitig ist es möglich, Karten von ellipsometric Daten mit Ortsauflösung unten zu 1 ìm zu erzeugen. Spektroskopie auf dem Darstellungsniveau ist von 360 - 1000 nm möglich und bietet die Fähigkeit des Studierens von stärkeren Schichten an, weil unabhängigere Maße die Anzahl von Sitzparametern erhöhen, die mehr Informationen über die Probe bedeutet.
Anwendungen:
- ? Mikroskalaproben: zum Beispiel Dünnfilme auf Si-Freitragendem; graphene Flocken
- ? Antireflexionsschichten von Laser-Facetten
- ? Seitliche Phasentrennung in einem Misch-bilayer (Phospholipide)
- ? Strukturierte Filme: photopatterned unterstützte Phospholipidmembran; micropatterned Polymere
- ? Transparente Substratflächen durch die Anwendung eines Trägerschneiders: kombinierter Anstellwinkel und Wellenlängenspektren
vom Film Fe304 auf 50 ìm dünner Glimmerplatte - ? Microarrays: Biochips; Proteininteraktion; Kinetischleser; multi Kanalmaße
- ? Maße auf Proben des schwachen Kontrastes
Hauptmerkmale und Nutzen: - ? Ellipsometric Kontrastechtzeitmikrographen für direkte Sichtbarmachung der Probe
- ? Seitliche Auflösung unten zu 1 ìm
- ? Auswahl der richtigen Wellenlänge für Absorbermaterialien
- ? Darstellung von Dünnschichten auf flüssigen Oberflächen (nanofilm_ep3 kann als Brewster-Winkelmikroskop auch verwendet werden)
- ? Analyse von mehrschichtigen/multi Parameteranlagen
- ? Optimierte Empfindlichkeit durch die Wellenlängenjustage
- ? Patented motorisierte Goniometer - Genauigkeit von 0.01°
- ? Festkörperlaser (658 nm, 50 mW)
- ? Trennen Sie sich spektralanalytischen Kasten mit Xe-Lichtbogenlampe und 46 Interferenzfiltern
- ? Epviewsoftware - Datenerfassung und Regelung des Instrumentes