La Proyección De Imagen ellipsometry vence los límites de ellipsometers clásicos determinando espesor del film y propiedades ópticas con una combinación de anular ellipsometry y de la microscopia. Las imágenes Elipsométricas del alto contraste de la superficie con una resolución lateral hacia abajo a 1 ìm se logran. Ellipsometry Espectroscópico le permite estudiar los materiales complejos como superficies de polímero, copos del graphene, capas monomoleculares, biosensores, la adsorción de la proteína y mucho más. Con la proyección de imagen ellipsometry la talla del objeto investigador se puede reducir al rango del micrómetro, que permite al utilizador medir en muestras micro-estructuradas. Por ejemplo, las capas reactivas en microsensors voladizo-basados se pueden characteriszed por el ep3_se. Tales muestras son inaccesibles a la talla de mancha grande de ellipsometers convencionales. Es Simultáneamente posible generar las correspondencias de datos elipsométricos con la resolución espacial hacia abajo a 1 ìm. La Espectroscopia en el nivel de la proyección de imagen es posible a partir del 360 - 1000 nanómetro y ofrece la capacidad de estudiar capas más gruesas, porque mediciones más independientes aumentan el número de parámetros del ajuste, que significa más información sobre la muestra.
Aplicaciones:
- ¿? Muestras de la Microescala: por ejemplo películas finas en Si-Voladizo; copos del graphene
- ¿? Capas de Antireflejos de facetas del laser
- ¿? Separación de fase Lateral en un bilayer mezclado (Fosfolípidos)
- ¿? Películas Estructuradas: membrana utilizada photopatterned del fosfolípido; polímeros micropatterned
- ¿? Substratos Transparentes usando un buril del haz: ángulo combinado de los espectros de la incidencia y de la longitud de onda
de la película Fe304 en la placa fina de la mica de 50 ìm - ¿? Microarrays: biochips; acción recíproca de la proteína; cinético-programa de lectura; mediciones multi del canal
- ¿? Mediciones en muestras inferiores del contraste
Características Dominantes y Ventajas: - ¿? Micrográfos elipsométricos En Tiempo Real del contraste para la visualización directa de la muestra
- ¿? Resolución Lateral hacia abajo a 1 ìm
- ¿? Selección de longitud de onda apropiada para los materiales absorbentes
- ¿? Proyección De Imagen de capas delgadas en superficies líquidas (nanofilm_ep3 se puede también utilizar como microscopio del ángulo de Brewster)
- ¿? Análisis de los sistemas de múltiples capas/multi del parámetro
- ¿? Sensibilidad Optimizada sintonizando de la longitud de onda
- ¿? Patented motorizó el goniómetro - exactitud de 0.01°
- ¿? Láser de estado sólido (658 nanómetro, 50 mW)
- ¿? Separe el rectángulo espectroscópico con la lámpara de Arco de Xe y 46 filtros de interferencia
- ¿? epview-software - de adquisición de datos y mando del instrumento