La Rappresentazione ellipsometry sormonta i limiti dei ellipsometers classici determinando lo spessore di pellicola ed i beni ottici con una combinazione di annullamento ellipsometry e di microscopia. Le immagini ad alto contrasto Ellissometriche dalla superficie con una risoluzione laterale giù a 1 ìm sono raggiunte. Ellipsometry Spettroscopico gli permette di studiare i materiali complessi come le superfici di polimero, i fiocchi del graphene, gli strati monomolecolari, i biosensori, l'adsorbimento della proteina e molto. Con la rappresentazione ellipsometry la dimensione dell'oggetto investigativo può essere diminuita all'intervallo di micrometro, che permette all'utente di misurare sui campioni micro-strutturati. Per esempio, i rivestimenti reattivi ai sui microsensors basati a a mensola possono essere characteriszed dal ep3_se. Tali campioni sono inaccessibili alla grande dimensione di punto dei ellipsometers convenzionali. È Simultaneamente possibile generare le mappe dei dati ellissometrici con risoluzione spaziale giù a 1 ìm. La Spettroscopia al livello della rappresentazione è possibile da 360 - 1000 nanometro ed offre la capacità di studio dei livelli più spessi, perché le misure più indipendenti aumentano il numero dei parametri di misura, che significa più informazioni sul campione.
Applicazioni:
- ? Campioni di Microscala: per esempio pellicole sottili su Si-A mensola; fiocchi del graphene
- ? Rivestimenti di Antiriflessione delle sfaccettature del laser
- ? Separazione di fase Laterale in un doppio strato misto (Fosfolipidi)
- ? Pellicole Strutturate: membrana di supporto photopatterned del fosfolipide; polimeri micropatterned
- ? Substrati Trasparenti usando una tagliatrice del raggio: angolo combinato degli spettri di lunghezza d'onda e di incidenza
della pellicola Fe304 sulla zolla sottile della mica di 50 ìm - ? Microarrays: biochips; interazione della proteina; cinetico-lettore; multi misure del canale
- ? Misure sui campioni bassi di contrasto
Caratteristiche Fondamentali E Vantaggi: - ? Micrografi ellissometrici In Tempo Reale di contrasto per visualizzazione diretta del campione
- ? Risoluzione Laterale giù a 1 ìm
- ? Selezione della lunghezza d'onda adeguata per i materiali assorbenti
- ? Rappresentazione degli strati sottili sulle superfici liquide (nanofilm_ep3 può anche essere usato come microscopio di angolo di Brewster)
- ? Analisi sistemi a più strati/multi di parametro
- ? Sensibilità Ottimizzata sintonizzando di lunghezza d'onda
- ? Patented ha motorizzato il goniometro - accuratezza di 0.01°
- ? Laser a stato solido (658 nanometro, 50 Mw)
- ? Separi la casella spettroscopica con la lampada ad arco Di Xe e 46 filtri da interferenza
- ? epview-software - dell'acquisizione dei dati e controllo dello strumento