ellipsometry イメージ投射は ellipsometry 無効にすることおよび顕微鏡検査の組合せを用いるフィルム厚さそして光学的性質の決定によって古典的な ellipsometers の限界を克服します。 側面解像度の表面からの Ellipsometric ハイコントラストの画像は 1 つの ìm に達成されます。 分光 ellipsometry ポリマー表面、 graphene の薄片、単一層、バイオセンサー、蛋白質の吸着および多くのような複雑な材料を調査することを可能にします。 ellipsometry イメージ投射を使うと調査の目的のサイズはユーザーがマイクロ構成されたサンプルで測定することを可能にするマイクロメートルの範囲に減らすことができます。 例えば、片持梁ベースの microsensors の反応コーティングは ep3_se によって characteriszed かもしれません。 そのようなサンプルは慣習的な ellipsometers の大きい点サイズに得難いです。 同時に 1 つの ìm に空間分解能の ellipsometric データのマップを生成することは可能です。 イメージ投射レベルの分光学はより独立した測定がサンプルについてのより多くの情報を意味する適合パラメータの番号を高めるので、 360 - 1000 nm から可能で、より厚い層を調査する機能を提供します。
アプリケーション:
- か。 マイクロスケールのサンプル: Si 片持梁の例えば薄膜; graphene の薄片
- か。 レーザー面の増透膜
- か。 混合された bilayer (リン脂質) の側面段階分離
- か。 構成されたフィルム: photopatterned サポートされたリン脂質の膜; micropatterned ポリマー
- か。 ビームカッターの使用による透過基板: および波長スペクトル結合された弾着余角
50 の ìm の薄い雲母の版の Fe304 フィルムの - か。 マイクロアレイ: biochips; 蛋白質の相互作用; 運動読取装置; マルチチャネルの測定
- か。 低い対照のサンプルの測定
主要特点および利点: - か。 サンプルの直接視覚化のためのリアルタイムの ellipsometric 対照の顕微鏡写真
- か。 側面解像度 1 つの ìm に
- か。 引きつけられる材料のための適切な波長の選択
- か。 液体の表面の薄層のイメージ投射 (nanofilm_ep3 はまた Brewster の角度の顕微鏡として使用することができます)
- か。 多層/マルチパラメータシステムの分析
- か。 波長の調整による最適化された感度
- か。 Patented ゴニオメーター - 0.01° の正確さ -- にモーターを備えました
- か。 ソリッドステートレーザー (658 nm、 50 MW)
- か。 Xe のアーク燈および 46 の干渉フィルタが付いている分光ボックスを分けて下さい
- か。 データ収集 epview ソフトウェア - および器械の制御