Ellipsometry de Weergave overwint de grenzen van klassieke ellipsometers door filmdikte en optische eigenschappen met een ellipsometry combinatie van het nietig verklaren en de microscopie te bepalen. De Ellipsometrische hoge contrastbeelden van de oppervlakte met een zijresolutie neer aan 1 ìm worden bereikt. Spectroscopische ellipsometry laat u toe om complexe materialen zoals polymeeroppervlakten te bestuderen, graphene vlokken, monolayers, biosensors, eiwitadsorptie en veel meer. Met ellipsometry weergave kan de grootte van het onderzoeksvoorwerp tot de micrometerwaaier worden verminderd, die de gebruiker om op micro-gestructureerde steekproeven toelaat te meten. Bijvoorbeeld, kunnen de reactieve deklagen op op cantilever-gebaseerde microsensors zijn characteriszed door ep3_se. Dergelijke steekproeven zijn ontoegankelijk aan de grote vlekgrootte van conventionele ellipsometers. Gelijktijdig is het mogelijk om kaarten van ellipsometrische gegevens met ruimteresolutie neer aan 1 ìm te produceren. De Spectroscopie op het weergaveniveau is mogelijk van 360 - 1000 NM en biedt het vermogen van het bestuderen van dikkere lagen aan, omdat de onafhankelijkere metingen het aantal geschikte parameters verhogen, wat meer informatie over de steekproef betekent.
Toepassingen:
- ? De steekproeven van de Micro-schaal: bijvoorbeeld dunne films op Si-Cantilever; graphene vlokken
- ? Antireflection deklagen van laserfacetten
- ? Zij fasescheiding in gemengd bilayer (Phospholipids)
- ? Gestructureerde films: photopatterned gesteund phospholipid membraan; micropatterned polymeren
- ? Transparante substraten door een straalsnijder te gebruiken: gecombineerde invalshoek en golflengtespectrums
van film Fe304 op 50 ìm dunne micaplaat - ? Microarrays: biochips; eiwit interactie; kinetisch-lezer; multi kanaalmetingen
- ? Metingen op lage contraststeekproeven
Zeer Belangrijke Eigenschappen en Voordelen: - ? Ellipsometrische contrastmicrografen In Real Time voor directe visualisatie van de steekproef
- ? Zij resolutie neer aan 1 ìm
- ? Selectie van juiste golflengte voor het absorberen van materialen
- ? Weergave van dunne lagen op vloeibare oppervlakten (nanofilm_ep3 kan ook als Brewster hoekmicroscoop worden gebruikt)
- ? Analyse van multilayer/multiparametersystemen
- ? Geoptimaliseerde gevoeligheid door golflengte te stemmen
- ? Gepatenteerde gemotoriseerde goniometer - nauwkeurigheid van 0.01°
- ? Laser In Vaste Toestand (658 NM, 50 mw)
- ? Afzonderlijke spectroscopische doos met Booglamp Xe en 46 interferentiefilters
- ? epview-software - gegevens aanwinst en controle van het instrument