att Avbilda som är ellipsometry, övervinner begränsar av klassiska ellipsometers, genom att bestämma, filmar tjocklek och optisk rekvisita med en ellipsometry kombination av nulling och microscopy. Ellipsometric kickkontrast avbildar från ytbehandla med en sidoupplösning besegrar till 1 ìm uppnås. Spectroscopic ellipsometry möjliggör dig till komplexa material för studien som den lika polymern ytbehandlar, grapheneflingor, monolayers, biosensors, proteinadsorption och många mer. Med att avbilda som är ellipsometry anmärker storleksanpassa av det investigatory, kan förminskas till mikrometern spänner, som möjliggör användaren för att mäta på mikro-strukturerat tar prov. Till exempel kan reactive beläggningar på cantilever-baserade microsensors characteriszeds av ep3_sen. Sådan tar prov är oåtkomligt till den stora fläcken storleksanpassar av konventionella ellipsometers. Samtidigt är det möjligheten som ska frambringas, kartlägger av ellipsometric data med rumslig upplösning besegrar till 1 ìm. Spektroskopin på avbilda som är jämnt, är möjligheten från 360 - 1000 nm och erbjuder kapaciteten av att studera mer tjock lagrar, därför att mer oberoende mätningsförhöjning numrera av färdiga parametrar, som hjälpmedel mer information om ta prov.
Applikationer:
- ? Microscalen tar prov: till exempel tunt filmar på Si-Cantileveren; grapheneflingor
- ? Antireflectionbeläggningar av laser fasetterar
- ? Lateralen arrangerar gradvis avskiljande i en blandad bilayer (Phospholipids)
- ? Strukturerat filmar: photopatterned stöttat phospholipidmembran; micropatterned polymrer
- ? Genomskinliga substrates, genom att använda en strålaskärare: kombinerat meta av förekomst- och våglängdspectra
av Fe304 filma på ìm 50 som tunn mica pläterar - ? Microarrays: biochips; proteinväxelverkan; kinetic-avläsare; mång- kanalisera mätningar
- ? Mätningar på låg kontrast tar prov
Stämma Särdrag och Gynnar: - ? Realtidsellipsometric kontrastmicrographs för riktar visualization av ta prov
- ? Sidoupplösning besegrar till 1 ìm
- ? Val av den riktiga våglängden för absorbing material
- ? att Avbilda av tunna lagrar på flytande ytbehandlar (nanofilm_ep3 kan också användas, som en Brewster metar mikroskopet),
- ? Analys av multilayer/mång- parametersystem
- ? Optimerad känslighet, genom att trimma för våglängd
- ? Patented motorized goniometeren - exakthet av 0.01°
- ? Halvledar- laser (658 nm, 50 mW)
- ? Separata spectroscopic boxas med den Xe Båglampan, och störning 46 filtrerar
- ? epview-programvara - dataförvärvet och kontrollerar av instrumentera