ellipsometry 的想象通过确定胶片厚度和光学性能解决古典 ellipsometers 限额与 ellipsometry 使无效和显微学的组合。 从表面的 Ellipsometric 大反差图象与一个侧向解决方法下来对 1 ìm 达到。 分光镜 ellipsometry 使您学习象聚合物表面、 graphene 剥落、单层、生理传感器，蛋白质吸附和许多的复杂材料。 ellipsometry 的想象这个调查对象的范围可以减少到测微表范围，在微型构建的范例使这个用户评定。 例如，在基于悬臂式的 microsensors 的易反应的涂层可能由这个 ep3_se characteriszed。 这样范例是不可访问的对常规 ellipsometers 的大光点直径。 同时生成 ellipsometric 数据映射与下来空间分辨率的到 1 ìm 是可能的。 在想象级别的分光学从 360 - 1000 毫微米是可能的并且提供学习更加厚实的层的功能，因为更加独立的评定增加适应参数的数量，意味关于这个范例的更多信息。
应用：
- ？ 微小等级范例： 例如在 Si 悬臂式的薄膜; graphene 剥落
- ？ 激光小平面抗反射膜
- ？ 在一混杂的 bilayer (磷脂) 的侧向分相
- ？ 构建的影片： photopatterned 支持的磷脂膜; micropatterned 聚合物
- ？ 通过使用射线切割工的透明基体： 联合的入射角和波长光谱
Fe304 在 50 ìm 稀薄的云母牌照的影片 - ？ 微阵列： 生物芯片; 蛋白质交往; 运动阅读程序; 多通道评定
- ？ 在低对比范例的评定
关键功能和福利： - ？ 范例的直接形象化的实时 ellipsometric 对比微写器
- ？ 下来侧向解决方法对 1 ìm
- ？ 适当的波长的选择引人入胜的材料的
- ？ 薄层想象在液体表面的 (nanofilm_ep3 可能也使用作为 Brewster 角度显微镜)
- ？ 对多层/多参数系统的分析
- ？ 优化区分通过波长调整
- ？ Patented 动力化了测向计 - 0.01° 的准确性
- ？ 固体激光 (658 毫微米， 50 兆瓦)
- ？ 分隔有 Xe 弧光灯和 46 个干扰滤波器的分光镜配件箱
- ？ 数据收集仪器的epview 软件 - 和控制