ellipsometry 的想像通過確定膠片厚度和光學性能解決古典 ellipsometers 限額與 ellipsometry 使無效和顯微學的組合。 從表面的 Ellipsometric 大反差圖像與一個側向解決方法下來對 1 ìm 達到。 分光鏡 ellipsometry 使您學習像聚合物表面、 graphene 剝落、單層、生理傳感器，蛋白質吸附和許多的複雜材料。 ellipsometry 的想像這個調查對象的範圍可以減少到測微表範圍，在微型構建的範例使這個用戶評定。 例如，在基於懸臂式的 microsensors 的易反應的塗層可能由這个 ep3_se characteriszed。 這樣範例是不可訪問的對常規 ellipsometers 的大光點直徑。 同時生成 ellipsometric 數據映射與下來空間分辨率的到 1 ìm 是可能的。 在想像級別的分光學從 360 - 1000 毫微米是可能的并且提供學習更加厚實的層的功能，因為更加獨立的評定增加適應參數的數量，意味關於這個範例的更多信息。
應用：
- ？ 微小等級範例： 例如在 Si 懸臂式的薄膜; graphene 剝落
- ？ 激光小平面抗反射膜
- ？ 在一混雜的 bilayer (磷脂) 的側向分相
- ？ 構建的影片： photopatterned 支持的磷脂膜; micropatterned 聚合物
- ？ 通過使用射線切割工的透明基體： 聯合的入射角和波長光譜
Fe304 在 50 ìm 稀薄的雲母牌照的影片 - ？ 微陣列： 生物芯片; 蛋白質交往; 運動閱讀程序; 多通道評定
- ？ 在低對比範例的評定
關鍵功能和福利： - ？ 範例的直接形象化的實時 ellipsometric 對比微寫器
- ？ 下來側向解決方法對 1 ìm
- ？ 適當的波長的選擇引人入勝的材料的
- ？ 薄層想像在液體表面的 (nanofilm_ep3 可能也使用作為 Brewster 角度顯微鏡)
- ？ 對多層/多參數系統的分析
- ？ 優化區分通過波長調整
- ？ Patented 動力化了測向計 - 0.01° 的準確性
- ？ 固體激光 (658 毫微米， 50 兆瓦)
- ？ 分隔有 Xe 弧光燈和 46 個干擾濾波器的分光鏡配件箱
- ？ 數據收集儀器的epview 軟件 - 和控制