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Système Semi-automatisé de Métallisation de Disque de SB6/8e de MicroTec AG de SÜSS

Le SB6/8e est un bonder semi-automatique, commandé par ordinateur, autonome de disque facilitant des disques de 150mm et de 200mm respectivement. Les fonctionnalités du système de SB6/8e un puits à dépression rigide pour l'exactitude classe meilleure de cadrage de poteau-obligation, supérieur indépendant et chaufferettes inférieures de substrat et précisent le contrôle de force programmable pendant le procédé de métallisation de disque.

Un bras de pression de pile de disque simplifie la charge et le déchargement des disques alignés dans le système d'aspirateur. Combiné avec le dispositif d'alignement BA6 ou BA8 d'Obligation de FLAIRER le SB6e et le SB8e fournit le cadrage, la force et le contrôle de température supérieurs d'obligation de poteau. Idéal pour MEMS, SOI, emballage de niveau de disque et applications optoélectroniques.

Le SB6/8e peut être équipé des dispositifs d'outillage pour tous les procédés en esclavage connus pour un large éventail de tailles de substrat jusqu'à 150/200mm de diamètre. Supplémentaire, la cavité de SB6e et de SB8e, l'outillage, et les dispositifs sont utilisés dans de SUSS des outils de batterie de la production l'ABC200 et le CBC200 qui permet le transfert facile de procédé de technologie à partir de la production de masse faible à la pleine production de masse.

Caractéristiques techniques :

  • Idéal pour tous les procédés d'obligation de disque comprenant la fritte, eutectique anodique et en verre, adhésif, la fusion et le collage par diffusion en métal

  • Adapté pour tous les types des disques et de substrats jusqu'au diamètre de 200mm, épaisseur de pile jusqu'à 6mm

  • L'exactitude Élevée de cadrage de poteau-obligation est assurée par le dispositif de transport de FLAIRER avec le disque robotisé se serrant en combination avec les dispositifs d'alignement d'obligation du FLAIRER BA6/BA8

  • Vers Le Bas à l'exactitude de cadrage d'obligation de poteau de 1µm avec l'option de prebond de laser sur le BA6/8 pour les piles multiples anodique métallisées de disque

  • Environnement en esclavage Réglé - aspirateur ou gaz réglé ambiant

Last Update: 11. January 2012 04:39

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