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SB6/8e の SÜSS の MicroTec AG からの半自動のウエファーの結合システム

SB6/8e はそれぞれ 150mm および 200mm のウエファーを取り扱う半自動、コンピューター制御の、スタンドアロンウエファーの bonder です。 SB6/8e のシステム特徴はウエファーの結合プロセスの間に最高にクラスの後結束のアラインメントの正確さのための堅い真空槽、独立した上部および下の基板のヒーターおよびプログラム可能な力制御を明確にします。

ウエファースタックローディングアームは真空システムに一直線に並べられたウエファーのローディングそして荷を下すことを簡素化します。 SUSS の結束のアライナ BA6 か BA8 によって結合されて SB6e 及び SB8e は優秀なポストの結束のアラインメント、力および温度調整を提供します。 MEMS、 SOI、ウエファーの水平な包装および光電子工学アプリケーションのための理想。

SB6/8e は直径の 150/200mm まで基板のサイズの広い範囲のすべての知られていたとらわれのプロセスのための工具細工の据え付け品と装備することができます。 さらに、 SB6e および SB8e 区域、工具細工および据え付け品は少量の生産からの完全な大量生産への容易な技術プロセス転送を可能にする CBC200 生産クラスタツールでおよび SUSS の ABC200 使用されます。

機能:

  • 陽極の、ガラスフリット、共融、付着力を含むすべてのウエファーの結束プロセスのための理想、融合および金属の拡散結合

  • 200mm の直径、 6mm までのスタック厚さまですべてのタイプのウエファーおよび基板のために適した

  • 高い後結束のアラインメントの正確さは SUSS BA6/BA8 の結束のアライナと組み合わせて締め金で止める自動化されたウエファーが付いている SUSS の輸送据え付け品によって保障されます

  • 陽極に関して担保付きの多重ウエファースタックのための BA6/8 のレーザーの prebond オプションの 1µm のポストの結束のアラインメントの正確さに

  • 制御されたとらわれの環境 - 真空か包囲された制御されたガス

Last Update: 11. January 2012 04:44

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