Posted in | Wafer Bonders

Semi-Автоматизированная SB6/8e Система Связи Вафли от MicroTec AG SÜSS

SB6/8e полуавтоматное, контролируемый компьютер -, отдельно стоящее bonder вафли приспосабливая вафли 150mm и 200mm соответственно. Характеристики системы SB6/8e твердая камера вакуума для точности юстировки столб-скрепления лучш-в-типа, независимые верхние и более низкие подогреватели субстрата и уточняют programmable управление усилия во время процесса выпуска облигаций вафли.

Рукоятка нагрузки стога вафли упрощает нагрузку и разгржать выровнянных вафель в систему вакуума. Совмещено с aligner BA6 или BA8 Скрепления SUSS SB6e & SB8e обеспечивают главные выравнивание, усилие и контроль температуры скрепления столба. Идеал для MEMS, SOI, упаковывать вафли ровного и электронно-оптический применений.

SB6/8e можно оборудовать с приспособлениями tooling для всех известных скрепленных процессов для широкого диапазона размеров субстрата до 150/200mm в диаметре. Дополнительно, камера SB6e и SB8e, tooling, и приспособления использованы в SUSS инструментах группы продукции ABC200 и CBC200 которое позволяет легкому переходу процесса технологии от низкого объема продукции к полному массовому производству.

Характеристики:

  • Идеал для всех процессов скрепления вафли включая анодные, стеклянные фритту, эутектическо, слипчиво, сплавливание и диффузионное соединение металла

  • Соответствующе для всех типов вафель и субстратов до диаметра 200mm, толщины стога до 6mm

  • Высокая точность юстировки столб-скрепления обеспечена приспособлением перехода SUSS при автоматизированная вафля зажимая в комбинации с aligners скрепления SUSS BA6/BA8

  • Вниз к точности юстировки скрепления столба 1µm с вариантом prebond лазера на BA6/8 для анодно скрепленных множественных стогов вафли

  • Контролируемая скрепленная окружающая среда - вакуумируйте или контролируемый газ окружающий

Last Update: 11. January 2012 04:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment