SB6/8e полуавтоматное, контролируемый компьютер -, отдельно стоящее bonder вафли приспосабливая вафли 150mm и 200mm соответственно. Характеристики системы SB6/8e твердая камера вакуума для точности юстировки столб-скрепления лучш-в-типа, независимые верхние и более низкие подогреватели субстрата и уточняют programmable управление усилия во время процесса выпуска облигаций вафли.
Рукоятка нагрузки стога вафли упрощает нагрузку и разгржать выровнянных вафель в систему вакуума. Совмещено с aligner BA6 или BA8 Скрепления SUSS SB6e & SB8e обеспечивают главные выравнивание, усилие и контроль температуры скрепления столба. Идеал для MEMS, SOI, упаковывать вафли ровного и электронно-оптический применений.
SB6/8e можно оборудовать с приспособлениями tooling для всех известных скрепленных процессов для широкого диапазона размеров субстрата до 150/200mm в диаметре. Дополнительно, камера SB6e и SB8e, tooling, и приспособления использованы в SUSS инструментах группы продукции ABC200 и CBC200 которое позволяет легкому переходу процесса технологии от низкого объема продукции к полному массовому производству.
Характеристики:
-
Идеал для всех процессов скрепления вафли включая анодные, стеклянные фритту, эутектическо, слипчиво, сплавливание и диффузионное соединение металла
-
Соответствующе для всех типов вафель и субстратов до диаметра 200mm, толщины стога до 6mm
-
Высокая точность юстировки столб-скрепления обеспечена приспособлением перехода SUSS при автоматизированная вафля зажимая в комбинации с aligners скрепления SUSS BA6/BA8
-
Вниз к точности юстировки скрепления столба 1µm с вариантом prebond лазера на BA6/8 для анодно скрепленных множественных стогов вафли
-
Контролируемая скрепленная окружающая среда - вакуумируйте или контролируемый газ окружающий