Beneq Oy에서 지속적인 최빈값 ALD 연구를 위한 박막 시스템 TFS 200R

Beneq TFS 200R는 롤 에 롤 지속적인 ALD (CALD)의 원자 층 공술서 그리고 그밖 (ALD) 양식에 있는 연구를 위해 디자인된 전대 미문 시스템입니다. TFS 200R는 유연한 기질에 박막 예금을 위해 독점적으로 사용됩니다. 처음으로 ALD 역사에서, TFS 200R는 각종 선구자 화학의 동적 행동, 가공 적부의 시뮬레이션 및 롤 에 롤 ALD 응용에 있는 필름 성과의 평가에 있는 수사를 가능하게 합니다.

TFS 200R에서는, 유연한 기질은 반응 약실 내의 자전 실린더에 조정 입니다. 실린더 자체는 다수 선형 분사구, 기질의 가득 차있는 폭에 고립된 가스 지구를 만드는 각각에 의해 포위됩니다. 실린더가 자전하는 때, 기질은 다른 가스 지구를 통과하고 입힙니다.

Beneq TFS 200R는, 그것의 강력한과 모듈 구조물과 더불어, 연구의 산업 둘 다 기준 그리고 융통성 요구에 오늘 응하기 위하여 디자인됩니다. 선구자 콘테이너는 편리하게 작, 쉽게 바뀔 수 있습니다. 가공 필요에 따라서, TFS 200R는 2개까지 열원, 모형 HS 80 그리고/또는 HS 180로 갖춰질 수 있습니다. 게다가, 시스템은 8개까지 가스관 및 4개까지 액체 근원으로 갖춰질 수 있습니다.

성과 하이라이트
  • 100 nm/min까지 박막 공술서 비율
  • 이동하는 기질, 웹은 300 m/min에 가속화합니다
  • 인간 기계 공용영역을 위한 고속과 수용량 자료 기록 뿐 아니라 동향 공구 (HMI).
  • 급속한 난방 및 냉각을 위한 차 벽 진공 약실
  • 진공 약실에 있는 보조 입력 포트는 제자리 진단 etc.를 가능하게 합니다
  • 격렬한 기질 및 가스는 선구자 응축의 획일한 기질 온도 그리고 예방을 위한 집합을 먹입니다
  • 종류 100 (ISO 5) 청정실 겸용성
  • 선구자 근원 윤곽은 선구자의 쉬운, 비활성 변경을 허용합니다

Last Update: 11. January 2012 04:45

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