Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Het Systeem van de Dunne Film TFS 200R voor het Ononderbroken Onderzoek van de Wijze ALD van Beneq Oy

Beneq TFS 200R is het allereerstee systeem dat voor onderzoek naar broodje-aan-Broodje atoomlaagdeposito en (ALD) andere vormen van ononderbroken ALD wordt ontworpen (CALD). TFS 200R wordt gebruikt uitsluitend voor het deponeren van dunne films op flexibele substraten. Voor het eerst in geschiedenis ALD, laat TFS 200R onderzoek in het dynamische gedrag van diverse voorloperchemie, simulatie van procesgeschiktheid en evaluatie van filmprestaties in toe broodje-aan-Broodje ALD toepassingen.

In TFS 200R, wordt het flexibele substraat bevestigd op een roterende cilinder binnen de reactiekamer. De cilinder zelf wordt omringd door een aantal lineaire pijpen, elk die tot een geïsoleerd gasgebied over de volledige breedte van het substraat leidt. Aangezien de cilinder wordt geroteerd, gaat het substraat door verschillende gasgebieden over en is met een laag bedekt.

Beneq TFS 200R, met zijn robuuste en modulaire structuur, wordt ontworpen om zowel aan industriële normen als de flexibiliteitsvereisten van onderzoek vandaag te voldoen. De containers van de Voorloper zijn gemakshalve klein, en zij kunnen gemakkelijk worden veranderd. Afhankelijk van de procesbehoeften, kan TFS 200R met maximaal 2 verwarmde bronnen, type HS 80 en/of HS 180 worden uitgerust. Bovendien, kan het systeem met maximaal 8 gasleidingen en tot 4 vloeibare bronnen worden uitgerust.

De hoogtepunten van Prestaties
  • Het tarief van het Dunne filmdeposito tot 100 nm/min
  • Het Bewegende substraat, Web versnelt aan 300 m/min
  • De gegevensregistreren van de Hoge snelheid en van de capaciteit evenals tendenshulpmiddelen voor mens/machine-interface (HMI).
  • De luchtledige kamer van de koud-Muur voor het snelle verwarmen en het koelen
  • De Hulp ingangshavens in luchtledige kamer laten diagnostiek in situ enz. toe
  • Verwarmde substraat en gasvoerassemblage voor eenvormige substraattemperatuur en preventie van voorlopercondensatie
  • Klasse 100 (ISO 5) clean-room verenigbaarheid
  • De voorloper bronconfiguratie staat voor gemakkelijke, inerte verandering van voorlopers toe

Last Update: 11. January 2012 04:37

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment