Sistema TFS 200R do Filme Fino para a Pesquisa Contínua do Modo ALD de Beneq Oy

Sistema TFS 200R do Filme Fino para a Pesquisa Contínua do Modo ALD de Beneq Oy

O Beneq TFS 200R é o primeiro-nunca sistema projetado para a pesquisa no depósito atômico da camada do Rolo-à-Rolo (ALD) e nos outros formulários de ALD contínuo (CALD). O TFS 200R é usado exclusivamente depositando filmes finos em carcaças flexíveis. Pela primeira vez na história de ALD, o TFS 200R permite a investigação no comportamento dinâmico de várias química do precursor, na simulação da conformidade do processo e na avaliação do desempenho do filme em aplicações do Rolo-à-Rolo ALD.

No TFS 200R, a carcaça flexível é fixa em um cilindro de giro dentro da câmara da reacção. O cilindro próprio é cercado por um número de bocais lineares, cada um que cria uma região isolada do gás sobre a largura completa da carcaça. Enquanto o cilindro é girado, a carcaça passa com as regiões diferentes do gás e é revestida.

O Beneq TFS 200R, com sua estrutura robusta e modular, é projectado cumprir hoje padrões industriais e as exigências da flexibilidade da pesquisa. Os recipientes do Precursor são convenientemente pequenos, e podem facilmente ser mudados. Segundo as necessidades do processo, o TFS 200R pode ser equipado com as até 2 fontes calorosos, tipo HS 80 e/ou HS 180. Adicionalmente, o sistema pode ser equipado com as até 8 linhas de gás e as até 4 fontes líquidas.

Destaques do Desempenho
  • Taxa de depósito do filme Fino até 100 nm/min
  • A carcaça Movente, Web acelera a 300 m/min
  • Ferramentas do registo assim como da tendência da Alta velocidade e de dados da capacidade para a relação de máquina humana (HMI).
  • câmara de vácuo da Frio-Parede para o aquecimento e refrigerar rápidos
  • As portas Auxiliares da entrada na câmara de vácuo permitem os diagnósticos in situ etc.
  • A carcaça Caloroso e o gás alimentam o conjunto para a temperatura da carcaça e a prevenção uniformes da condensação do precursor
  • Compatibilidade da sala de limpeza da Classe 100 (ISO 5)
  • A configuração da fonte do precursor permite a mudança fácil, inerte dos precursores

Last Update: 11. January 2012 04:50

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