Система TFS 200R Тонкого Фильма для Непрерывного Исследования Режима ALD от Beneq Oy

Beneq TFS 200R впервые в жизни система конструированная для исследования в низложении слоя Крен-к-Крена атомном (ALD) и других формах непрерывного ALD (CALD). TFS 200R использовано исключительно для депозировать тонкие фильмы на гибких субстратах. Для the first time внутри истории ALD, TFS 200R включает исследование в динамическом режиме различных химий прекурсора, имитации отростчатой пригодности и оценке представления фильма в применениях Крен-к-Крена ALD.

В TFS 200R, гибкий субстрат фикчирован на вращая цилиндре внутри камера реакции. Цилиндр сам окружен несколькими линейных сопл, каждым создавая изолированную зону газа над полной шириной субстрата. По Мере Того Как цилиндр вращан, субстрат проходит через различные зоны газа и покрын.

Beneq TFS 200R, с своей робастной и модульной структурой, конструировано для того чтобы соотвествовать и промышленным стандартам и гибкости исследования сегодня. Контейнеры Прекурсора удобно малы, и их можно легко изменить. В зависимости от отростчатых потребностей, TFS 200R можно оборудовать с до 2 тепловыми источниками, типом HS 80 и/или HS 180. Дополнительно, систему можно оборудовать с до 8 газопроводами и до 4 жидкостными источниками.

Самые интересные Представления
  • Тариф низложения Тонкого фильма до 100 nm/min
  • Moving субстрат, скорость сети до 300 m/min
  • Быстрый ход и регистрация данных так же, как тенденция емкости инструменты для людского интерфейса машины (HMI).
  • камера вакуума Холодн-Стены для быстрых топления и охлаждать
  • Вспомогательный вход переносит в камеру вакуума позволяет в диагностиках etc situ
  • Heated субстрат и газ подают агрегат для равномерных температуры субстрата и предохранения конденсации прекурсора
  • Тип 100 (совместимость чистой комнаты ISO 5)
  • Конфигурация источника прекурсора позволяет для легкого, инертного изменения прекурсоров

Last Update: 11. January 2012 04:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment