Tunt Filma Systemet TFS 200R för Fortlöpande Forskning för Funktionsläget ALD från Beneq Oy

Beneqen TFS 200R är det första-någonsin systemet som planläggs för forskning i Rulle-till-Rulle atom- lagraravlagring, (ALD) och annan bildar av fortlöpande ALD (CALD). TFSEN 200R används exklusivt för att sätta in thin filmar på böjliga substrates. För den första tiden i ALD-historia möjliggör TFSEN 200R utredning i det dynamiska uppförandet av olika precursorkemiar, simulering av den processaa lämpligheten, och utvärderingen av filmar kapacitet i Rulle-till-Rulle ALD applikationer.

I TFSEN 200R, fixas den böjliga substraten på en roterande cylinder inom reaktionskammaren. Cylindern sig själv omges av ett nummer av linjära dysor, varje som skapar som isoleras, gasar region över den fulla bredden av substraten. Som cylindern roteras, passerar substraten till och med olikt gasar regioner och täckas.

Beneqen TFS 200R, med dess robustt och modul strukturerar, planläggs att möta både industriella normal och böjlighetskraven av forskning i dag. Precursorbehållare är lämpligt lilla, och de kan lätt ändras. Beroende av de processaa behoven kan TFSEN 200R utrustas med upp till 2 värmde källor, typ HS 80 och/eller HS 180. Dessutom kan systemet utrustas med upp till 8 gasar fodrar och upp till 4 vätskekällor.

Kapacitetsviktig
  • Tunt filma avlagring klassar upp till 100 nm/min
  • Den Röra substraten, rengöringsduk rusar upp till 300 m/min
  • Den Hög hastighets- och kapacitetsdataatt logga såväl som trenden bearbetar för människa bearbetar med maskin har kontakt (HMI).
  • Förkylning-Väggen dammsuger kammaren för uppvärmning och att kyla för for
  • Hjälparetillträdeet ports dammsuger in kammaren möjliggör i situdiagnostik etc.
  • Den Upphettade substraten och gasar matningsenheten för enhetlig substratetemperatur och förhindrande av precursorkondensation
  • Klassificera (ISO 5) rengöring-rum 100 förenlighet
  • Precursorkällkonfigurationen låter för lätt inert ändring av precursors

Last Update: 23. January 2012 04:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment