Nanopositioning のための Nano Piezo 段階およびスキャン - Nanoscan の技術からの Ratis

Ratis は nanopositioning、 Nanoscan の技術によって開発されるスキャンのための平面平行 piezo 段階の系列です。 Ratis の piezo 段階は副ナノメーターの精密の目的を移動することができます。 一義的な機能は外のり寸法が 100õ100 だけ mm 間、中心の大きい開口 (直径の 45 の mm) です。 これは必要とします段階の中心の明確な光学経路をアプリケーションに有用であることができます。

Piezo 段階は EDM のワイヤー切断および精密な CNC の機械化と処理される固体金属棒から成っています。 移動可能な中央部分は適用範囲が広いばねにハングし、 piezo アクチュエーターによって運転されます。 Ratis デザインはスキャン表面が球である圧電気の管に基づいて古典的なスキャンナーと対照をなして動きの優秀な直線性そして平坦を、提供します。 さらに、平面平行スキャンナーに壊れやすい圧電気の管によって比較されるより高い機械強さがあります。

Ratis の複数の斧のスキャンナーはデジタル閉ループ制御のための容量性変位センサーが装備されています。 それは動きの高精度そして直線性を提供し、 piezoceramics のクリープの効果を除去します。 キャパシタンス測定は (タイムにデジタル変換の) TDC 技術とすべての測定の電子工学がセンサーにできるだけ近くあるなされます。 そのようなデザインは低雑音および高速変位制御の原因となります。

例えば Ratis の piezo 段階のユニバーサルコントローラを制御するため。- 3000 または例えば。- 1000 は使用されましたり、また NSpec のソフトウェア。

Ratis の nanopositioning 段階のアプリケーションは下記のものを含んでいます:

  • スキャンのプローブの顕微鏡検査 (例えば原子力の顕微鏡検査)
  • Nanopositioning
  • 度量衡学
  • 生物学の研究
  • マイクロエレクトロニクス
  • 顕微操作等。

Last Update: 16. January 2012 23:58

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