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Nanopositioning 的纳诺压力阶段和扫描 - 从 Nanoscan 技术的 Ratis

Ratis 是飞机并行压力阶段系列 Nanoscan 技术开发的 nanopositioning 和浏览的。 Ratis 压力阶段能够移动与子毫微米精确度的对象。 他们的唯一功能是大开口 (直径的 45 mm) 在这个中心,当外面维数是仅 100õ100 mm 时。 这在这个阶段的中心能是有用的在应用要求清楚的光学路径。

压力阶段由固定的金属棒制成处理与 EDM 电汇剪切和准确 CNC 用机器制造。 可移动的中央部分在灵活的弹簧停止和驱动与压力致动器。 Ratis 设计提供这个移动的非常好的线性和扁平,与在压电管基础上的古典扫描程序对比,扫描表面是范围。 另外,飞机并行扫描程序有更高的机械强度,比较脆弱的压电管。

Ratis 多轴扫描程序装备数字式闭环控制的电容位移传感器。 它提供移动高精确度和线性并且消灭 piezoceramics 的蠕动作用。 电容评定用 (定期对数字式转换) 的 TDC 技术做所有评定的电子位于一样紧密尽可能对传感器。 这样设计导致低噪声和高速位移控制。

即控制 Ratis 压力阶段通用管理员。即 - 3000 或。- 使用 1000 以及 NSpec 软件。

Ratis nanopositioning 的阶段的应用包括:

  • 浏览的探测显微学 (即基本强制显微学)
  • Nanopositioning
  • 计量学
  • 生物研究
  • 微电子学
  • 微细操作等。

Last Update: 16. January 2012 23:57

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