Nanopositioning 的納諾壓力階段和掃描 - 從 Nanoscan 技術的 Ratis

Ratis 是飛機並行壓力階段系列 Nanoscan 技術開發的 nanopositioning 和瀏覽的。 Ratis 壓力階段能够移動與子毫微米精確度的對象。 他們的唯一功能是大開口 (直徑的 45 mm) 在這個中心,當外面維數是仅 100õ100 mm 時。 這在這個階段的中心能是有用的在應用要求清楚的光學路徑。

壓力階段由固定的金屬棒製成處理與 EDM 電匯剪切和準確 CNC 用機器製造。 可移動的中央部分在靈活的彈簧停止和驅動與壓力致動器。 Ratis 設計提供這個移動的非常好的線性和扁平,與在壓電管基礎上的古典掃描程序對比,掃描表面是範圍。 另外,飛機並行掃描程序有更高的機械強度,比較脆弱的壓電管。

Ratis 多軸掃描程序裝備數字式閉環控制的電容位移傳感器。 它提供移動高精確度和線性并且消滅 piezoceramics 的蠕動作用。 電容評定用 (定期對數字式轉換) 的 TDC 技術做所有評定的電子位於一樣緊密儘可能對傳感器。 這樣設計導致低噪聲和高速位移控制。

即控制 Ratis 壓力階段通用管理員。即 - 3000 或。- 使用 1000 以及 NSpec 軟件。

Ratis nanopositioning 的階段的應用包括:

  • 瀏覽的探測顯微學 (即基本強制顯微學)
  • Nanopositioning
  • 計量學
  • 生物研究
  • 微電子學
  • 微細操作等。

Last Update: 23. January 2012 04:50

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