EQS 分析的な Hiden からの SIMS の検光子の二次イオン質量分析計のボルト

最新式、既存の UHV の表面科学区域への統合のためのボルトン SIMS のプローブ

  • エネルギー解析の静的で/ダイナミックな SIMS
  • RGA のための必要なフロント・エンド ioniser
  • 構成/汚染の分析
  • 深さの側面図を描くこと
  • 漏水検知および脱着させたガス分析
  • Hiden SIMS ワークステーションと互換性がある
  • FIB-SIMS の統合のために適した

1000 のシリーズ EQS のための指定

  • 5keV5 Ar の衝突 27の下の+ Al ターゲットからの Al のための 5x10+ cps/nA
  • 5keV O の衝突の下の CsI ターゲットからの3+ 913amu の CS (CsI) のための 1002+ cps/nA

特色になる固体サンプルからの二次肯定的で、否定的なイオンの分析のための EQS の二次イオン質量分析計:

  • 7 ディケイドのダイナミックレンジが付いている探知器を数える高い感度のパルスイオン。
  • 高められた深さの側面図を描くことのためのラスター制御および統合されたシグナルのゲートで制御することを用いるイメージ投射。
  • 45° 静電気のセクターの検光子、 0.05 の eV の増分 0.25eV FWHM のスキャンエネルギー。
  • すべてのエネルギーのイオン飛行経路及び一定したイオン伝達の最小の摂動。
  • 三重フィルター四重極、 2500 amu への多くオプション。
  • ゲージおよび連結を圧力保護に提供するためにペンで書くこと。
  • 高圧環境の使用のための特異的にポンプでくまれたオプション。
  • RS232、 RS485 またはイーサネット LAN による MASsoft 制御。
  • 既存のシステムに容易にインターフェイスさせて

Last Update: 25. April 2013 13:18

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