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EQS 분석 Hiden에서 SIMS 해석기에 이차 이온 질량 분서계 놀이쇠

최신식, 기존 UHV 표면 과학 약실로 통합을 위한 볼턴 SIMS 탐사기

  • 에너지 분석을 가진 정체되는/동적인 SIMS
  • RGA를 위한 완전한 프런트 엔드 ioniser
  • 구성/오염 분석
  • 깊이 윤곽을 그리기
  • 누출 탐지와 탈착된 기체 분석
  • Hiden SIMS 워크 스테이션과 호환이 되는
  • FIB-SIMS 통합을 위해 적당한

1000의 시리즈 EQS를 위한 논고

  • 5keV5 Ar 사격 27의 밑에+ 알루미늄 표적에서 알루미늄을 위한 5x10+ cps/nA
  • 5keV O 사격의 밑에 CsI 표적에서3+ 913amu에 Cs (CsI)를 위한 1002+ cps/nA

특색짓는 단단한 견본에서 이차 긍정 및 부정적인 이온의 분석을 위한 EQS 이차 이온 질량 분서계:

  • 7 십년간 역학 범위를 가진 검출기를 세는 높은 감도 펄스 이온.
  • 강화된 깊이 윤곽을 그리기를 위한 점방식 통제 및 통합에게 신호 문을 달기를 가진 화상 진찰.
  • 45° 정전기 전투지역 해석기, 0.05 eV 증분 0.25eV FWHM에 검사 에너지.
  • 모든 에너지에 이온 비행 경로 & 일정한 이온 전송의 최소한도 섭동.
  • 3배 필터 4중극, 2500 amu에 대량 선택권.
  • 계기와 내부고정기를 압력 보호에 제공하기 위하여 쓰기.
  • 고압 환경에 있는 사용을 위한 미분으로 양수된 선택권.
  • RS232, RS485 또는 이더네트 근거리 통신망을 통해 MASsoft 통제.
  • 기존 시스템에 쉽게 조화시켜

Last Update: 25. April 2013 13:18

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