科技目前进步水平，综合化的伯勒屯 SIMS 探测到您现有的 UHV 表面科学房间里
- 与能量分析的静态/动态 SIMS
- RGA 的集成期初 ioniser
- 构成/污秽分析
- 深度描出
- 漏水检测和被放出的气体分析
- 与 Hiden SIMS 工作区兼容
- 适用于 FIB-SIMS 综合化
1000 系列 EQS 的说明
- 5 Al 的 5x10 27cps/nA+ 从在 5keV Ar 炮击下的 Al+ 目标
- 电缆敷设船的 (CsI) 100 个 cps/nA3+ 在从 CsI 目标的 913amu 在 5keV O2+ 炮击下
对从固定的范例的附属正和负离子的分析的 EQS 附属离子质谱仪，以为特色：
- 计数与 7 个十年力学范围的高区分脉冲离子探测器。
- 改进的深度描出的光栅与集成信号装门的控制和想象。
- 45° 静电部门分析程序，在 0.05 eV 增量 0.25eV FWHM 的扫描能源。
- 离子飞行路线 & 恒定的离子传输的最小的扰动在所有能源。
- 三次补白四极，对 2500 amu 的质量选项。
- 写作测量仪和互锁提供在压保护。
- 有差别地抽的选项用于高压环境。
- MASsoft 控制通过 RS232、 RS485 或者以太网 LAN。
- 容易地连接对现有系统