科技目前進步水平，綜合化的伯勒屯 SIMS 探測到您現有的 UHV 表面科學房間裡
- 與能量分析的靜態/動態 SIMS
- RGA 的集成期初 ioniser
- 構成/汙穢分析
- 深度描出
- 漏水檢測和被放出的氣體分析
- 與 Hiden SIMS 工作區兼容
- 適用於 FIB-SIMS 綜合化
1000 系列 EQS 的說明
- 5 Al 的 5x10 27cps/nA+ 從在 5keV Ar 砲擊下的 Al+ 目標
- 電纜敷設船的 (CsI) 100 个 cps/nA3+ 在從 CsI 目標的 913amu 在 5keV O2+ 砲擊下
對從固定的範例的附屬正和負離子的分析的 EQS 附屬離子質譜儀，以為特色：
- 計數與 7 個十年力學範圍的高區分脈衝離子探測器。
- 改進的深度描出的光柵與集成信號裝門的控制和想像。
- 45° 靜電部門分析程序，在 0.05 eV 增量 0.25eV FWHM 的掃描能源。
- 離子飛行路線 & 恆定的離子傳輸的最小的擾動在所有能源。
- 三次補白四極，對 2500 amu 的質量選項。
- 寫作測量儀和互鎖提供在壓保護。
- 有差別地抽的選項用於高壓環境。
- MASsoft 控制通過 RS232、 RS485 或者以太網 LAN。
- 容易地連接對現有系統