Aleris 8500 von KLA Tencor - Dicken-und Zusammensetzungs-Maß

Die Aleris-Familie von Filmmetrologiehilfsmitteln liefert zuverlässiges und genaues Maß der Dicke, des Brechungskoeffizienten, des Druckes und der Zusammensetzung für den Knotenpunkt 32nm und jenseits.

Spektralanalytische Breitbandtechnologie Ellipsometry (BBSE) Verwendend, bilden die Aleris-Anlagen eine umfassende Filmmetrologielösung und helfen fabs, um eine breite Reichweite der Filmschichten zu kennzeichnen und zu überwachen.

Merkmale der Dünnfilm-Metrologiehilfsmittel Aleris umfassen:

  • Patentiertes Spektralanalytisches Breitbandellipsometry (BBSE) produziert die Präzision, die Stabilität und die übereinstimmende Leistung, die für das Filmüberwachen benötigt werden
  • Das Rezept, das unter verschiedenen Aleris-Film-Metrologiebaumustern teilt, ermöglicht eine flexible prozesskontrollierte Strategie innerhalb des tollen, die die Spitzen- und billigen Filmanwendungen umfaßt
  • Rezept Datenbankmanagement (RDM) erlaubt Ingenieuren, Rezepte für effizientere Operationen leicht entfernt zu handhaben
  • Wahlweisestressmapper stellt hoch entwickelte Druckmaßfähigkeit zur Verfügung, kennzeichnen helfende Chip-Hersteller Prozesspunkte, die führen können knackten oder delaminated Filme oder Ursachenüberlagerungsfehler
  • Zuverlässige, dehnbare Architektur schützt fabs' Investitionen

Aleris 8500

Mit hoch entwickelter Leistung und eindeutiger Spektralanalytischer Ellipsometry (BBSE) Breitbandtechnologie 150nm versieht das Film-Metrologiehilfsmittel Aleris 8500 fabs mit einer einzelnen Produktionslösung für messende Zusammensetzung und Stärke von neuen Materialien und von hoch entwickelten Einheitszellen. Das Film-Metrologiehilfsmittel Aleris 8500 versieht Ingenieure mit den Dicken- und Zusammensetzungsinformationen, die benötigt werden, um zu kennzeichnen, integriert und überwacht hoch entwickelte Filme, einschließlich nitrided Torschichten, hoch--K Dielektrika und ultradünne mehrschichtige Stapel.

Last Update: 31. January 2012 23:52

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment