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Aleris 8500 de KLA Tencor - Espesor Del Film Y Medición de la Composición

La Familia de Aleris de herramientas de la metrología de la película proporciona a la medición segura y exacta del espesor del film, del Índice de refracción, de la tensión y de la composición para el nodo 32nm y más allá.

Utilizando la tecnología Espectroscópica De Banda Ancha de Ellipsometry (BBSE), los sistemas de Aleris forman una solución completa de la metrología de la película, ayudando a fabs para calificar y para vigilar una amplia gama de capas de la película.

Las Características de las herramientas de la metrología de la película fina de Aleris incluyen:

  • Ellipsometry Espectroscópico De Banda Ancha Patentado (BBSE) produce la precisión, la estabilidad y el funcionamiento que corresponde con requeridos para vigilar de las películas
  • La Receta que comparte entre diversos modelos de la metrología de la película de Aleris facilita una estrategia flexible del mando de proceso dentro del fabuloso que revista aplicaciones de gama alta y inferiores de la película
  • La Gestión de Bases de Datos de la Receta (RDM) permite que los representantes técnicos manejen fácilmente recetas remotamente para operaciones más eficientes
  • StressMapper Opcional proporciona a capacidad avanzada de la medición de la tensión, los fabricantes de chips de ayuda determinan las ediciones de proceso que pueden llevar quebraron o delaminated las películas o los desvíos del papel de la causa
  • La configuración Segura, extensible protege inversiones de capitales de los fabs las'

Aleris 8500

Con funcionamiento avanzado y tecnología Espectroscópica De Banda Ancha única de 150nm Ellipsometry (BBSE), la herramienta de la metrología de la película de Aleris 8500 provee de fabs una única solución de la producción para la composición y el espesor de medición de nuevos materiales y de estructuras avanzadas del dispositivo. La herramienta de la metrología de la película de Aleris 8500 provee de representantes técnicos la información del espesor del film y de la composición requerida para calificar, integra y vigila las películas avanzadas, incluyendo capas nitrided de la entrada, altos-k dieléctricos, y pilas de múltiples capas ultrafinas.

Last Update: 31. January 2012 23:56

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