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KLA Tencor からの Aleris 8500 - フィルム厚さおよび構成の測定

フィルムの度量衡学のツールの Aleris の系列はのためのそして向こうフィルム厚さ、 R.i.、圧力および構成 32nm ノードの信頼でき、精密な、測定を提供します。

Ellipsometry 広帯域分光 (BBSE) の技術を利用して、 Aleris システムは広範囲のフィルムの度量衡学の解決を形作りま、フィルムの層の広い範囲を修飾し、監察するために fabs を助けます。

Aleris の薄膜の度量衡学のツールの機能は下記のものを含んでいます:

  • 特許を取られた広帯域分光 Ellipsometry (BBSE) はフィルムの監視に必要な精密、安定性および一致パフォーマンスを作り出します
  • 異なった Aleris のフィルムの度量衡学モデル間で共有する調理法はハイエンドおよび低価格のフィルムのアプリケーションをカバーするすてきのの内の適用範囲が広いプロセス制御作戦を促進します
  • 調理法のデータベース管理は (RDM)エンジニアが容易により効率的な操作のために調理法を遠隔に管理することを可能にします
  • 任意選択 StressMapper は高度の圧力の測定の機能を提供します、助力チップメーカーは割るか、または裂いたフィルムか原因オーバーレイエラーを導くことができるプロセス問題を識別します
  • 信頼できる、拡張可能なアーキテクチャは fabs の」資本投資保護します

Aleris 8500

高度パフォーマンスおよび一義的な 150nm 広帯域分光 Ellipsometry (BBSE) の技術によって、 Aleris 8500 のフィルムの度量衡学のツールは新しい材料および高度装置構造の測定の構成そして厚さに単一の生産の解決を fabs に与えます。 Aleris 8500 のフィルムの度量衡学のツールは修飾するために必要なフィルムの厚さおよび構成情報をエンジニアに与え、 nitrided ゲートの層、高k 誘電体および極めて薄い多層スタックを含む高度のフィルムを、統合し、そして監察します。

Last Update: 31. January 2012 23:53

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