Aleris 8500 de KLA Tencor - Espessura de Filme e Medida da Composição

A Família de Aleris de ferramentas da metrologia do filme fornece a medida segura e precisa da espessura de filme, do R.I., do esforço e da composição para o nó 32nm e além.

Utilizando a tecnologia Espectroscópica De Faixa Larga de Ellipsometry (BBSE), os sistemas de Aleris formam uma solução detalhada da metrologia do filme, ajudando fabs a qualificar e monitorar uma escala larga de camadas do filme.

As Características das ferramentas da metrologia do filme fino de Aleris incluem:

  • Ellipsometry Espectroscópica De Faixa Larga Patenteado (BBSE) produz a precisão, a estabilidade e o desempenho de harmonização exigidos para a monitoração dos filmes
  • A Receita que compartilha entre modelos diferentes da metrologia do filme de Aleris facilita uma estratégia controle de processos flexível dentro do fabuloso que cubra a parte alta e aplicações baixo da gama do filme
  • A Gestão de Base De Dados da Receita (RDM) permite que os coordenadores controlem facilmente receitas remotamente para umas operações mais eficientes
  • StressMapper Opcional fornece capacidade avançada da medida do esforço, os fabricantes de chips de ajuda identificam as edições do processo que podem conduzir racharam ou delaminated filmes ou erros da folha de prova da causa
  • A arquitetura Segura, extendible protege investimentos de capital dos fabs'

Aleris 8500

Com desempenho avançado e tecnologia Espectroscópica De Faixa Larga original de 150nm Ellipsometry (BBSE), a ferramenta da metrologia do filme de Aleris 8500 fornece fabs uma única solução da produção para a composição e a espessura de medição de materiais novos e de estruturas avançadas do dispositivo. A ferramenta da metrologia do filme de Aleris 8500 fornece coordenadores a informação da espessura e da composição de filme exigida para qualificar, integra e monitora os filmes avançados, incluindo camadas nitrided da porta, dieléctricos altos-k, e pilhas ultra-finas da multi-camada.

Last Update: 31. January 2012 23:55

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