Aleris 8500 от KLA Tencor - Толщина Фильма и Измерение Состава

Aleris 8500 от KLA Tencor - Толщина Фильма и Измерение Состава

Семейство Aleris инструментов метрологии фильма предусматривает надежное и точное измерение толщины фильма, R.I., усилия и состава для узла 32nm и за пределами.

Использующ Широкополосную Спектроскопическую технологию Ellipsometry (BBSE), системы Aleris формируют всестороннее разрешение метрологии фильма, помогающ fabs для того чтобы квалифицировать и проконтролировать обширный ряд слоев фильма.

Характеристики инструментов метрологии тонкого фильма Aleris включают:

  • Запатентованное Широкополосное Спектроскопическое Ellipsometry (BBSE) производит точность, стабилность и соответствуя представление необходимо для контролировать фильмов
  • Рецепт среди различных моделей метрологии фильма Aleris облегчает гибкую стратегию управления производственным процессом в пределах сказочного которая покрывает и лидирующие и низкого уровня применения фильма
  • Управление Базы Данных Рецепта (RDM) позволяет инженерам легко управлять рецептами отдаленно для более эффективных деятельностей
  • Опционное StressMapper обеспечивает предварительную возможность измерения усилия, помогая чипмейкеры определяют отростчатые вопросы которые могут вести треснули или delaminated фильмы или ошибки верхнего слоя причины
  • Надежное, extendible зодчество защищает капитальные вложения fabs'

Aleris 8500

С предварительным представлением и уникально технологией 150nm Широкополосной Спектроскопической Ellipsometry (BBSE), инструмент метрологии фильма Aleris 8500 обеспечивает fabs с одиночным разрешением продукции для измеряя состава и толщины новых материалов и предварительных структур прибора. Инструмент метрологии фильма Aleris 8500 обеспечивает инженеров при данные по толщины и состава фильма необходим, что квалифицировал, интегрирует и контролирует предварительные фильмы, включая nitrided слои строба, высокие-k dielectrics, и ультратонкие разнослоистые стога.

Last Update: 31. January 2012 23:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier