Aleris 8500 от KLA Tencor - Толщина Фильма и Измерение Состава

Семейство Aleris инструментов метрологии фильма предусматривает надежное и точное измерение толщины фильма, R.I., усилия и состава для узла 32nm и за пределами.

Использующ Широкополосную Спектроскопическую технологию Ellipsometry (BBSE), системы Aleris формируют всестороннее разрешение метрологии фильма, помогающ fabs для того чтобы квалифицировать и проконтролировать обширный ряд слоев фильма.

Характеристики инструментов метрологии тонкого фильма Aleris включают:

  • Запатентованное Широкополосное Спектроскопическое Ellipsometry (BBSE) производит точность, стабилность и соответствуя представление необходимо для контролировать фильмов
  • Рецепт среди различных моделей метрологии фильма Aleris облегчает гибкую стратегию управления производственным процессом в пределах сказочного которая покрывает и лидирующие и низкого уровня применения фильма
  • Управление Базы Данных Рецепта (RDM) позволяет инженерам легко управлять рецептами отдаленно для более эффективных деятельностей
  • Опционное StressMapper обеспечивает предварительную возможность измерения усилия, помогая чипмейкеры определяют отростчатые вопросы которые могут вести треснули или delaminated фильмы или ошибки верхнего слоя причины
  • Надежное, extendible зодчество защищает капитальные вложения fabs'

Aleris 8500

С предварительным представлением и уникально технологией 150nm Широкополосной Спектроскопической Ellipsometry (BBSE), инструмент метрологии фильма Aleris 8500 обеспечивает fabs с одиночным разрешением продукции для измеряя состава и толщины новых материалов и предварительных структур прибора. Инструмент метрологии фильма Aleris 8500 обеспечивает инженеров при данные по толщины и состава фильма необходим, что квалифицировал, интегрирует и контролирует предварительные фильмы, включая nitrided слои строба, высокие-k dielectrics, и ультратонкие разнослоистые стога.

Last Update: 31. January 2012 23:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment