Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Aleris 8500 från KLA Tencor - Filma Tjockleks- och SammansättningsMätningen

Den Aleris Familjen av filmar metrology bearbetar ger pålitligt och preciserar mätning av filmar tjocklek, R.I., spänning och sammansättning för knutpunkten 32nm och det okända.

Använda Spectroscopic Ellipsometry för Bredbandet (BBSE) teknologi, bildar de Aleris systemen ett omfattande filmar metrologylösningen, portionfabs för att kvalificera sig, och att övervaka ett brett spänna av filmar lagrar.

Särdrag av den tunna Alerisen filmar metrology bearbetar inkluderar:

  • Den Patenterade Bredbandet som Spectroscopic Ellipsometry (BBSE) producerar precisionen, stabilitet och matchakapaciteten som krävs för, filmar övervakning
  • Recept som delar bland olika Aleris, filmar metrology modellerar gör ett böjligt processaa lättare kontrollerar strategi inom det fab som täcker både kick-avslutar och låg-avslutar filmar applikationer
  • ReceptDatabasLedning (RDM) låter iscensätter lätt för att klara av recept avlägset för effektivare funktioner
  • Valfria StressMapper ger avancerad spänningsmätningskapacitet, identifierar portionchipmakers processaa utfärdar, som kan leda knäckt, eller delaminated filmar, eller orsakar överdrar fel
  • Pålitlig extendible arkitektur skyddar fabs' kapitalsatsningar

Aleris 8500

Med Spectroscopic Ellipsometry för den avancerade kapaciteten och för den unika Bredbandet 150nm (BBSE) teknologi filmar Alerisen 8500 metrology bearbetar ger fabs med en singelproduktionlösning för att mäta sammansättning, och tjocklek av nya material och den avancerade apparaten strukturerar. Alerisen 8500 filmar metrology bearbetar ger iscensätter med filmatjockleken, och information om sammansättning som krävs att kvalificera, integrera och övervaka avancerat, filmar, däribland nitrided utfärda utegångsförbud för lagrar, kick-Kdielectrics och ultra-tunna mång--lagrar buntar.

Last Update: 31. January 2012 23:57

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment