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从 KLA Tencor 的 Aleris 8500 - 胶片厚度和构成评定

影片计量学工具 Aleris 系列提供以远胶片厚度、 R.i.、这个 32nm 节点的重点和构成的可靠和准确的评定和。

使用宽频分光镜 Ellipsometry (BBSE) 技术, Aleris 系统形成一个全面影片计量学解决方法,帮助 fabs 合格和监控各种各样的影片层。

Aleris 薄膜计量学工具的功能包括:

  • 给予专利的宽频分光镜 Ellipsometry (BBSE) 导致对于影片监控和配比的性能是必需的精确度、稳定性
  • 共享在不同的 Aleris 影片计量学设计的处方实现在报道高端和低价的影片应用的很好内的一个灵活的程序控制的方法
  • 处方数据库管理 (RDM)允许工程师为更加高效的运算远程地容易地管理处方
  • 选项 StressMapper 提供先进的重点评定功能,帮助的芯片制造商识别可能导致崩裂或分成细层影片或原因重叠错误的处理问题
  • 可靠,可伸长的结构保护 fabs’资本投资

Aleris 8500

先进的性能和唯一 150nm 宽频分光镜 Ellipsometry (BBSE) 技术, Aleris 8500 影片计量学工具提供 fabs 以一个唯一生产解决方法为新的材料和先进的设备结构的评定的构成和厚度。 Aleris 8500 影片计量学工具提供工程师以要求的胶片厚度和构成信息合格,集成并且监控先进的影片,包括 nitrided 门层、高的 k 电介质和超薄的多层栈。

Last Update: 31. January 2012 23:50

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