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從 KLA Tencor 的 Aleris 8500 - 膠片厚度和構成評定

影片計量學工具 Aleris 系列提供以遠膠片厚度、 R.i.、這個 32nm 節點的重點和構成的可靠和準確的評定和。

使用寬頻分光鏡 Ellipsometry (BBSE) 技術, Aleris 系統形成一個全面影片計量學解決方法,幫助 fabs 合格和監控各種各樣的影片層。

Aleris 薄膜計量學工具的功能包括:

  • 給予專利的寬頻分光鏡 Ellipsometry (BBSE) 導致對於影片監控和配比的性能是必需的精確度、穩定性
  • 共享在不同的 Aleris 影片計量學設計的處方實現在報道高端和低價的影片應用的很好內的一個靈活的程序控制的方法
  • 處方數據庫管理 (RDM)允許工程師為更加高效的運算遠程地容易地管理處方
  • 選項 StressMapper 提供先進的重點評定功能,幫助的芯片製造商識別可能導致崩裂或分成細層影片或原因重疊錯誤的處理問題
  • 可靠,可伸長的結構保護 fabs』資本投資

Aleris 8500

先進的性能和唯一 150nm 寬頻分光鏡 Ellipsometry (BBSE) 技術, Aleris 8500 影片計量學工具提供 fabs 以一個唯一生產解決方法為新的材料和先進的設備結構的評定的構成和厚度。 Aleris 8500 影片計量學工具提供工程師以要求的膠片厚度和構成信息合格,集成并且監控先進的影片,包括 nitrided 門層、高的 k 電介質和超薄的多層棧。

Last Update: 31. January 2012 23:50

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