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オングストローム工学からの Amod の薄膜の沈殿システム

薄膜の沈殿ツールの Åmod ラインは今日の薄膜の研究者の高度プロセス条件を満たすように設計されていました。 オングストローム工学の旗艦ラインは十分にカスタマイズ可能で、多重システム構成の一部として結合することができます。 社内開発された制御ソフトウエアはスムーズに指先で右の情報を保つさまざまなシステムコンポーネントを統合します。

機能

Åmod の薄膜の沈殿システムの機能は下記のものを含んでいます:

  • オングストロームの高度の PC ベースのソフトウエアシステム制御
  • アルミニウムかステンレス鋼区域オプション
  • プロセス条件を満たすためにカスタム設計される
  • 多重 PVD プロセスのためのサポート
  • グローブボックスの統合オプション
  • 1600mm x 1000mm システム足跡
  • 滑走および蝶番を付けられたドアオプションの 475mm x 475mm x 500mm の高い区域
  • アルミニウムかステンレス鋼区域オプション
  • プロセス条件を満たすためにカスタム設計される
  • 多重 PVD プロセスのためのサポート
  • 使用できる国際的な入力電圧
  • ユーザーのログオン制御を用いる調理法によって基づく高度の多層沈殿制御
  • 順次または共同沈殿
  • 標準に fixturing は直径がより大きい基板のサイズの援助のための私達に連絡する 300mm までサポートします
  • あらゆるシステムと含まれている工場トレーニング
  • 私達の詳しいトレーニングマニュアルは新しいユーザーに装置を作動させ維持する方法を教えます
  • ユーザーの安全は区域が開いているときソースへの切断力のような機能と優先する保持されます
  • 敏感な、思いやりがあるカスタマーサービスの 1 年の保証

Last Update: 14. February 2012 09:55

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