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Jenaer Glas-Nitrid Fühler - Sprungbrett-Kragbalken von Nanoworld

Die Jenaer Glas-Nitrid Fühler haben Silikonnitridkragbalken mit sehr niedrigen Kraftkonstanten und das integrierte geschärfte Oxid, Pyramidenspitzen mit einer Höhe von µm 3,5. Die Spitze wird 4µm hinter dem freien Ende des Kragbalkens lokalisiert. Diese Fühlerserie kennzeichnet ein Stützchip, das vom Jenaer Glas gemacht wird.

Zwei Chip-Versionen sind erhältlich:

  • Die DB-Serie mit Kragbalken des rechteckigen/Sprungbrettes
  • Die TR-Serie, die dreieckige Kragbalken hat.

Beide Seiten des Chips haben identische Kragbalken. Alle Kragbalken sind der kompensierte Druck und haben eine rückseitenbeschichtung mit 70 nm-Chrom/-goldfür hohe Laser-Reflexion.

Alle Chips werden vor Versand vor-getrennt und kommen in Gel-PAK-Behältnisse. Der typische Spitzenradius von Biegung von ist unter 10 nm. Das Kragbalkenverbiegen ist unter 2°.

Zu mehr Information contactwww.nanworld.com

Last Update: 18. February 2012 08:23

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