Sonda del Pyrex-Nitruro - Travi A Mensola del Trampolino da Nanoworld

Le sonde del Pyrex-Nitruro hanno le travi a mensola del nitruro di silicio con le costanti di forza molto basse ed ossido integrato affilato, suggerimenti piramidali con un'altezza di µm 3,5. Il suggerimento è individuato 4µm dietro l'estremità libera della trave a mensola. Questa serie della sonda caratterizza un chip di sostegno che è fatto di Pyrex.

Due versioni del chip sono disponibili:

  • La serie di DB con le travi a mensola trampolino/rettangolari
  • La serie di TR che ha travi a mensola triangolari.

Entrambi I lati del chip hanno travi a mensola identiche. Tutte Le travi a mensola sono sforzo compensativo ed hanno un rivestimento della parte di 70 di nanometro cromi/oro per l'alta riflessione del laser.

Tutti I chip pre-sono separati prima della spedizione e vengono in contenitori di Gel-Pak. Il raggio del suggerimento di curvatura tipico di è inferiore a 10 nanometro. Il piegamento della trave a mensola è sotto 2°.

Per più informazioni contactwww.nanworld.com

Last Update: 18. February 2012 08:23

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