Le sonde del Pyrex-Nitruro hanno le travi a mensola del nitruro di silicio con le costanti di forza molto basse ed ossido integrato affilato, suggerimenti piramidali con un'altezza di µm 3,5. Il suggerimento è individuato 4µm dietro l'estremità libera della trave a mensola. Questa serie della sonda caratterizza un chip di sostegno che è fatto di Pyrex.
Due versioni del chip sono disponibili:
- La serie di DB con le travi a mensola trampolino/rettangolari
- La serie di TR che ha travi a mensola triangolari.
Entrambi I lati del chip hanno travi a mensola identiche. Tutte Le travi a mensola sono sforzo compensativo ed hanno un rivestimento della parte di 70 di nanometro cromi/oro per l'alta riflessione del laser.
Tutti I chip pre-sono separati prima della spedizione e vengono in contenitori di Gel-Pak. Il raggio del suggerimento di curvatura tipico di è inferiore a 10 nanometro. Il piegamento della trave a mensola è sotto 2°.
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