최고 날가로운 것 1nm NT-MDT AFM는 Scanwel에서 시험합니다

전형적인 곡율 반경 1nm (DLC)를 가진 탄소 tips* 다이아몬드 같이 최고 날가로운 것은 몇몇 나노미터의 규모를 가진 객체에 고해상 장악을 위해 매우 유용합니다. DLC 끝에는 높은 물자 내구성 때문에 아주 긴 일생이 있습니다.

DLC 끝은 어떤 표준 탐사기 시리즈에 증가될 수 있습니다.

DLC 끝 TEM의 20 nm 작업 길이를 보장하는 것은 사용됩니다. 분지에 있는 탐사기의 총계에서 10%는 시험을 선정됩니다. 그 탐사기의 적어도 80%에는 길이가 20 nm에 의해 그 외 동일 탐사기에 DLC 끝 초과되는 유일한 DLC 끝이 있어야 합니다. 이런 경우에 전체적인 배치는으로 통과했습니다 TEM 시험 고려됩니다. 소밀 큰 보다 20 nm를 가진 표면에 이중상은 가능합니다.

최고 날가로운 것 DLC 끝 논고:

  • 물자 - 탄소 다이아몬드 같이 -
  • 곡율 반경 - 1-3nm
  • 작업 길이 -20nm

탐사기 논고:

  • 칩 규모 - 3.6x1.6x0.4mm3
  • 사려깊은 옆 코팅 - Au
  • 칩에는 1개의 직사각형 외팔보가 있습니다

탐사기 시리즈
공가 길이, L+5μm
공가 폭, W+3μm
공가 간격, μm
공명 주파수, kHz
힘상수, N/m
전형
최대
전형
최대
전형
최대
NSG01*
130
35
1.7
2.0
2.3
115
150
190
2.5
5.5
10

* - DLC 끝은 요구에 의해 다른 어떤 탐사기 시리즈에 증가될 수 있습니다

Last Update: 27. February 2012 19:51

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