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Scanwel からの CONTACT/SEMICONTACT のための NT-MDT のプローブ

力の定数および共振周波数の中型値が原因で NT-MDT からの CSG30 シリーズプローブは接触、 semicontact および無接触モードで使用することができます。

具体的には先端を除去しないで同じサンプル領域の両方のモードの測定を提供することは必要である場合のどのモードが使用されるべきであるか場合のそれがはっきり定義されないサンプル調査のアプリケーションのために設計されていてまたは。

CSG30 シリーズ、プローブの指定:

  • 材料 -、 0.01-0.025 オーム Cm N タイプの単結晶のケイ素添加されるアンチモン
  • チップサイズ - 3.4x1.6x0.3mm3
  • 反射サイドの Au
  • 片持梁第 - 長方形 1
  • 先端の湾曲の半径 - 典型的な 6nm、保証された 10nm
  • 使用できるコーティング - 伝導性 PtIr
  • 、裸、使用できるプローブ - Al の反射コーティングと tipless

片持梁シリーズ
片持梁長さ、 L+5μm
片持梁幅、 W+3μm
片持梁厚さ、 T+0.5μm
共振周波数、 kHz
力の定数、 N/m
典型的
最大
典型的
最大
CSG30
190
30
1.5
26
48
76
0.13
0.6
2

Last Update: 27. February 2012 19:51

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