CONTACT/SEMICONTACT 的 NT-MDT 探测从 Scanwel

由于力常数和谐振频率的媒体值从 NT-MDT 的 CSG30 串联探测可以用于联络、 semicontact 和没有接触的模式。

特别地设计为申请,当应该使用模式的它不明晰定义,对范例调查或,当提供评定在同一范例区的两个模式下是必要的,无需去除这个技巧。

CSG30 串联,探测说明:

  • 材料 - 单晶硅, N 型, 0.01-0.025 欧姆 Cm,被掺杂的锑
  • 筹码范围 - 3.4x1.6x0.3mm3
  • 反射性边的澳大利亚
  • 悬臂式编号 - 1 长方形
  • 技巧曲度半径 - 典型的 6nm,保证的 10nm
  • 可用的涂层 - 导电性 PtIr
  • 仅有可用的探测 -, tipless,与 Al 反射性涂层

悬臂式串联
悬臂式长度, L+5μm
悬臂式宽度, W+3μm
悬臂式厚度, T+0.5μm
谐振频率, kHz
力常数, N/m
分钟
典型
最大
分钟
典型
最大
CSG30
190
30
1.5
26
48
76
0.13
0.6
2

Last Update: 27. February 2012 19:50

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