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CONTACT/SEMICONTACT 的 NT-MDT 探測從 Scanwel

由於力常數和諧振頻率的媒體值從 NT-MDT 的 CSG30 串聯探測可以用於聯絡、 semicontact 和沒有接觸的模式。

特別地設計為申請,當應該使用模式的它不明晰定義,對範例調查或,當提供評定在同一範例區的兩個模式下是必要的,无需去除這個技巧。

CSG30 串聯,探測說明:

  • 材料 - 單晶硅, N 型, 0.01-0.025 歐姆 Cm,被摻雜的銻
  • 籌碼範圍 - 3.4x1.6x0.3mm3
  • 反射性邊的澳大利亞
  • 懸臂式編號 - 1 長方形
  • 技巧曲度半徑 - 典型的 6nm,保證的 10nm
  • 可用的塗層 - 導電性 PtIr
  • 僅有可用的探測 -, tipless,與 Al 反射性塗層

懸臂式串聯
懸臂式長度, L+5μm
懸臂式寬度, W+3μm
懸臂式厚度, T+0.5μm
諧振頻率, kHz
力常數, N/m
分鐘
典型
最大
分鐘
典型
最大
CSG30
190
30
1.5
26
48
76
0.13
0.6
2

Last Update: 27. February 2012 19:50

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