纳诺受托代购商 G300 使用支持与直径的范例 300 mm 的一个阶段。 行业用户的非常好的长期投资,它为获取机械数据提供一个快速,可靠方法在未割减的硅片。 G300 允许测试多个层,实现可能有对产量、性能和长寿的重大的作用到设备的产品开发和故障分析。
电磁式驱动允许空前的力学范围生效和位移。 它启用变形的评定六个数量级从毫微米到毫米。
功能
- 发生兼容与 ISO 14577
- 抽样标本的阶段与 Dia. 300 mm
- 全面测试自动化让仪器运行未看管
- 灵活性,可重复或新建应用程序的提高能力
- 动态属性描述特性通过由凹进深度的 CSM
- 实时控制,平缓协议发展,漂移补偿
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